氣體與真空
大宗氣體、特氣櫃、壓縮空氣（CDA）和真空泵：生產機臺的“血液”，斷供即停機，洩漏關係人身安全。 18 種裝置型別.
廠務真空系統
給真空吸筆、吸盤和清潔系統提供真空。
協議: Modbus TCP
適用行業: 半導體與積體電路 · 新能源製造 · 通用與離散製造
4 個品牌: Busch, Dekker Vacuum, Ebara, Edwards
儲罐區液位
原料和成品儲罐的液位、溫度和高高液位聯鎖（只讀）。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU · OPC UA
適用行業: 半導體與積體電路 · 通用與離散製造 · 玻璃製造
9 個品牌: 迪川（Dichuan）, Emerson, Endress+Hauser, Flowline, Honeywell, Siemens, 中控技术（SUPCON DCS）, Veeder-Root, VEGA
大宗化學品供應系統
把酸、鹼、溶劑和顯影液等從儲罐經雙層管送到機臺。漏液由接液盤和夾層探測，切斷由系統自己完成。
協議: Modbus TCP · OPC UA
4 個品牌: Air Liquide, Entegris, Kinetics, 至纯科技（PNC）
大宗氣體供應
液氮、液氧、液氬儲罐或氫氣管束，經汽化器後以穩定壓力供給全廠。液位低要提前叫車；汽化器出口過冷說明用量超過汽化能力。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學 · 銅管與金屬加工 · 玻璃製造
10 個品牌: Air Liquide, Air Products, Airgas, Applied Energy Systems, Chart Industries, CKD, 杭氧（Hangyang）, 华特气体（Huate）, Linde, Matheson
氮氣純化器
把大宗氮氣純化到 ppb 級，O₂ 和水分穿透會影響良率。
協議: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
4 個品牌: Entegris, 大连华邦（Huabang）, Japan Pionics, SAES Pure Gas
閥門分配箱（VMB/VMP）
把一路特氣分配到多臺機臺的閥箱，箱體有排風和洩漏探測。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
6 個品牌: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, 华特气体（Huate）, Matheson, 至纯科技（PNC）
工藝真空泵
機臺腔體下面的乾式真空泵。泵停或入口壓力升高會讓工藝中斷甚至晶圓報廢；氮氣吹掃防止腐蝕和粉塵沉積。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU
6 個品牌: Busch, Ebara, Edwards, Kashiyama, Leybold, Pfeiffer Vacuum
化學品稀釋單元
把濃化學品按比例稀釋後供給機臺，濃度偏離會影響工藝。
協議: Modbus TCP · OPC UA
空壓機
壓縮空氣是工廠的"第四種能源"，驅動氣缸、噴槍和工具。兩臺執行一臺備用。
協議: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
適用行業: 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學 · 通用與離散製造 · 銅管與金屬加工 · 玻璃製造
9 個品牌: 博莱特（Bolaite）, 复盛（Fusheng）, Gardner Denver, Hitachi, Ingersoll Rand, Kaeser, 开山（Kaishan）, Quincy Compressor, Sullair
離心式空壓機（CDA）
大型無油離心空壓機，為氣動閥和機臺提供潔淨乾燥壓縮空氣（CDA）。跳一臺時其他機組要在幾十秒內補上，否則總管壓力下跌，機臺報警停機。
協議: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造
3 個品牌: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser
氫氣 / 液氮汽化器
把液氮、液氧或液氫氣化；出口溫度過低會凍裂下游管路。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學
4 個品牌: Chart Industries, Cryoquip, 富瑞特装（Furui）, Linde
特氣櫃
裝有毒、可燃或腐蝕性氣體鋼瓶的排風櫃，帶自動吹掃、過流切斷和自動切斷閥。切斷由氣櫃和 GMS 自己完成，平臺只監視。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造
7 個品牌: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, 华特气体（Huate）, Linde, Matheson, 至纯科技（PNC）
特氣用量計量
按氣體統計用量和可供天數，用於成本分攤和提前訂瓶。只讀。
協議: Modbus TCP · EtherNet/IP
8 個品牌: Applied Energy Systems, Brooks Instrument, CKD, Horiba STEC, 华特气体（Huate）, Matheson, MKS Instruments, 北方华创（NAURA）
吸附式乾燥機
把壓縮空氣露點降到約 −94°F（−70°C）。露點升高意味著水分進入 CDA 管網。
協議: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學
6 個品牌: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, 杭州山立（Shanli）, Sullair
現場制氮裝置
PSA 或深冷空分現場制氮。純度不合格時切到液氮後備。
協議: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 銅管與金屬加工 · 玻璃製造
6 個品牌: Air Products, Atlas Copco, 杭氧（Hangyang）, 苏州恒大（Hengda）, Parker Hannifin, Peak Scientific
壓縮空氣總管
總管壓力是用氣裝置真正拿到的壓力。低於約 95 psi 時氣動工具和夾具會失靈。
協議: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
適用行業: 生物醫藥與生命科學 · 通用與離散製造 · 銅管與金屬加工 · 玻璃製造
6 個品牌: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, 杭州山立（Shanli）, Sullair
研磨液供應系統
把 CMP 研磨液混配後迴圈送到機臺。大顆粒計數升高會造成晶圓劃傷。
協議: Modbus TCP · OPC UA
適用行業: 半導體與積體電路
4 個品牌: Air Liquide, Entegris, Kinetics, 至纯科技（PNC）
CDA 總管
全廠 CDA 的壓力、露點和用量。機臺真正拿到的是這個壓力。
協議: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造
6 個品牌: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, 杭州山立（Shanli）, Sullair
表裡沒有的品牌也能接入：只要裝置支援任一標準協議，就先按協議通用模板接入，再按廠家點表調整。