水系統
超純水、純化水/注射用水、工藝冷卻水、廢水處理和給排水泵閥：水質和水量直接決定產品良率和排放合規。 26 種裝置型別.
超純水拋光供水迴路
送到機臺的超純水：電阻率 18.2 MΩ·cm、TOC < 1 ppb、溶解氧和顆粒都極低。任何一項變差都可能直接影響良率。
協議: Modbus TCP · OPC UA
7 個品牌: Kurita, Mettler-Toledo Thornton, Nomura Micro Science, Organo, Pall, Veolia, Xylem
純化水迴路（PW）
常溫臭氧消毒的純化水迴路。電導率（USP <645>）和 TOC（USP <643>，500 ppb）是放行指標。
協議: Modbus TCP · OPC UA
適用行業: 生物醫藥與生命科學
5 個品牌: BWT, MECO, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Stilmas
純蒸汽發生器
用純化水產生純蒸汽，供滅菌櫃和線上滅菌（SIP）使用。壓力不足時滅菌批次會失敗。
協議: Modbus TCP · OPC UA
適用行業: 生物醫藥與生命科學
4 個品牌: BWT, Getinge, 新华医疗（Shinva）, Stilmas
電去離子裝置（EDI）
用電場持續除去 RO 產水中的離子，把電阻率提高到 16 MΩ·cm 以上。
協議: Modbus TCP · OPC UA
電阻率分析儀
超純水電阻率必須保持 18.2 MΩ·cm 附近。
協議: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
4 個品牌: Hach, Horiba Advanced Techno, 雷磁（Leici）, Mettler-Toledo Thornton
多效蒸餾水機
用蒸汽把純化水蒸餾成注射用水。產水不合格時自動轉排放。
協議: Modbus TCP · OPC UA
適用行業: 生物醫藥與生命科學
5 個品牌: BWT, MECO, 新华医疗（Shinva）, Stilmas, 东富龙（Tofflon）
反滲透裝置（RO）
超純水/純化水的第一道脫鹽。產水電導率升高說明膜汙堵或破損。
協議: Modbus TCP · OPC UA · BACnet/IP · EtherNet/IP · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學
16 個品牌: ABB, 川仪（Chuanyi）, Endress+Hauser, Evoqua, Hach, Krohne, Kurita, MECO, Organo, Pall, Rosemount, 上自仪（SAI）, Siemens, VEGA, Veolia, Yokogawa
灌溉控制器
按天氣調整澆水，節約景觀用水。
協議: Modbus TCP · MQTT · Modbus RTU
適用行業: 商業建築
4 個品牌: 大禹节水（Dayu）, Gardena, Hunter Industries, Rain Bird
含氟廢水處理
用鈣鹽把蝕刻產生的含氟廢水沉澱成氟化鈣，出水氟離子必須低於排放許可。
協議: Modbus TCP · OPC UA
適用行業: 半導體與積體電路
5 個品牌: 光大水务（Everbright Water）, Evoqua, Kurita, 碧水源（Origin Water）, Veolia
回收水系統
把較乾淨的工藝排水處理後回用到冷卻塔或超純水前端，降低用水量。水質不合格時自動轉排放。
協議: Modbus TCP · OPC UA
4 個品牌: 光大水务（Everbright Water）, Nomura Micro Science, 碧水源（Origin Water）, Veolia
就地清洗站（CIP）
按溫度、濃度、流量和時間清洗罐和管道。任一項不達標，這次清洗就不算數。
協議: OPC UA · Modbus TCP
5 個品牌: Alfa Laval, Cytiva, GEA, Sartorius, 东富龙（Tofflon）
軍團菌監測
按水溫、餘氯和停留時間評估軍團菌風險（ASHRAE 188 水管理計劃）。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · Modbus RTU
5 個品牌: Grundfos, Hach, KEMPER, 碧水源智能（Origin Smart）, Sloan
冷凝水回收
回收冷凝水省水省燃料；電導率升高說明有換熱器內漏。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · Modbus RTU
4 個品牌: Armstrong International, 耐普（Naipu）, Spirax Sarco, Watson McDaniel
軟化水裝置
去除硬度保護鍋爐、加溼器和冷卻塔；再生和鹽量要跟上。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU
4 個品牌: BWT, Culligan, Kinetico, 润新（Runxin）
生活熱水迴圈
回水溫度夠高才能防軍團菌（ASHRAE 188），也讓使用者開閥即有熱水。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
5 個品牌: Armstrong International, Grundfos, KEMPER, Lochinvar, 万和（Vanward）
生活熱水機組
儲罐保持 140°F 以上防止軍團菌，出水混到約 120°F 防止燙傷。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · KNX
7 個品牌: A. O. Smith, AERCO, Armstrong International, Lochinvar, PVI Industries, Stiebel Eltron, Viessmann
生活水加壓泵組
把市政水壓提升到高層需要的壓力。停了高區就沒水。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學 · 通用與離散製造 · 銅管與金屬加工 · 商業建築 · 醫療衛生
8 個品牌: ABB, 南方泵业（CNP）, Ebara, Grundfos, 凯泉（Kaiquan）, KSB, 连成（Liancheng）, Wilo
水箱 / 水池液位
生活、消防或冷卻補水水箱；消防水池的水量不能低於設計值。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
酸鹼中和系統
把酸鹼廢水中和到排放許可範圍（通常 pH 6–9）後排入市政管網。超標排放會被罰款甚至停產。
協議: Modbus TCP · OPC UA · BACnet/IP
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學 · 通用與離散製造
5 個品牌: 光大水务（Everbright Water）, Evoqua, Hach, 碧水源（Origin Water）, ProMinent
汙水提升泵站
把低處的排水提升到處理站或市政管網。高液位報警不處理就會溢流。
協議: Modbus TCP · DNP3 · BACnet/IP · OPC UA · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路
7 個品牌: 光大水务（Everbright Water）, Grundfos, 凯泉（Kaiquan）, 碧水源（Origin Water）, Wilo, Xylem, Zoeller
汙水提升器 / 隔油池
地下室汙水提升和廚房隔油池；高液位意味著要溢流。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
5 個品牌: 凯泉（Kaiquan）, Liberty Pumps, VEGA, Wilo, Zoeller
研磨廢水處理
化學機械研磨（CMP）廢液含大量細顆粒，經超濾後回用或排放。出水濁度反映處理效果。
協議: Modbus TCP · OPC UA
適用行業: 半導體與積體電路
4 個品牌: 光大水务（Everbright Water）, Kurita, 碧水源（Origin Water）, Veolia
蒸汽疏水閥監測
漏汽的疏水閥每年浪費大量燃料，堵塞的會造成水擊。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · OPC UA · Modbus RTU
適用行業: 生物醫藥與生命科學 · 通用與離散製造 · 醫療衛生
5 個品牌: Armstrong International, Emerson, 耐普（Naipu）, Spirax Sarco, TLV
注射用水迴路（WFI）
80°C 熱迴圈的注射用水，溫度低於約 167°F（75°C）就失去自消毒能力。電導率和 TOC 超標的水不能用於生產。
協議: Modbus TCP · OPC UA
適用行業: 生物醫藥與生命科學
5 個品牌: BWT, MECO, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Stilmas
紫外 TOC 降解器
185 nm 紫外光分解水中的有機物。燈管衰減後 TOC 會上升。
協議: Modbus TCP · OPC UA
適用行業: 半導體與積體電路
4 個品牌: Evoqua, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Xylem
總排口監測
全廠廢水排放口的流量、pH、COD、氟離子和溫度，是排放許可和市政上報的依據。只讀。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · EtherNet/IP · OPC UA · Modbus RTU · DNP3
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 通用與離散製造
12 個品牌: ABB, 川仪（Chuanyi）, Endress+Hauser, Hach, Krohne, 碧水源（Origin Water）, Rosemount, 上自仪（SAI）, Siemens, VEGA, Xylem, Yokogawa
表裡沒有的品牌也能接入：只要裝置支援任一標準協議，就先按協議通用模板接入，再按廠家點表調整。