水系统
超纯水、纯化水/注射用水、工艺冷却水、废水处理和给排水泵阀:水质和水量直接决定产品良率和排放合规。 26 种设备类型.
超纯水抛光供水回路
送到机台的超纯水:电阻率 18.2 MΩ·cm、TOC < 1 ppb、溶解氧和颗粒都极低。任何一项变差都可能直接影响良率。
协议: Modbus TCP · OPC UA
7 个品牌: Kurita, Mettler-Toledo Thornton, Nomura Micro Science, Organo, Pall, Veolia, Xylem
纯化水回路(PW)
常温臭氧消毒的纯化水回路。电导率(USP <645>)和 TOC(USP <643>,500 ppb)是放行指标。
协议: Modbus TCP · OPC UA
适用行业: 生物医药与生命科学
5 个品牌: BWT, MECO, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Stilmas
纯蒸汽发生器
用纯化水产生纯蒸汽,供灭菌柜和在线灭菌(SIP)使用。压力不足时灭菌批次会失败。
协议: Modbus TCP · OPC UA
适用行业: 生物医药与生命科学
4 个品牌: BWT, Getinge, 新华医疗(Shinva), Stilmas
电去离子装置(EDI)
用电场持续除去 RO 产水中的离子,把电阻率提高到 16 MΩ·cm 以上。
协议: Modbus TCP · OPC UA
电阻率分析仪
超纯水电阻率必须保持 18.2 MΩ·cm 附近。
协议: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
4 个品牌: Hach, Horiba Advanced Techno, 雷磁(Leici), Mettler-Toledo Thornton
多效蒸馏水机
用蒸汽把纯化水蒸馏成注射用水。产水不合格时自动转排放。
协议: Modbus TCP · OPC UA
适用行业: 生物医药与生命科学
5 个品牌: BWT, MECO, 新华医疗(Shinva), Stilmas, 东富龙(Tofflon)
反渗透装置(RO)
超纯水/纯化水的第一道脱盐。产水电导率升高说明膜污堵或破损。
协议: Modbus TCP · OPC UA · BACnet/IP · EtherNet/IP · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学
16 个品牌: ABB, 川仪(Chuanyi), Endress+Hauser, Evoqua, Hach, Krohne, Kurita, MECO, Organo, Pall, Rosemount, 上自仪(SAI), Siemens, VEGA, Veolia, Yokogawa
灌溉控制器
按天气调整浇水,节约景观用水。
协议: Modbus TCP · MQTT · Modbus RTU
适用行业: 商业建筑
4 个品牌: 大禹节水(Dayu), Gardena, Hunter Industries, Rain Bird
含氟废水处理
用钙盐把蚀刻产生的含氟废水沉淀成氟化钙,出水氟离子必须低于排放许可。
协议: Modbus TCP · OPC UA
适用行业: 半导体与集成电路
5 个品牌: 光大水务(Everbright Water), Evoqua, Kurita, 碧水源(Origin Water), Veolia
回收水系统
把较干净的工艺排水处理后回用到冷却塔或超纯水前端,降低用水量。水质不合格时自动转排放。
协议: Modbus TCP · OPC UA
4 个品牌: 光大水务(Everbright Water), Nomura Micro Science, 碧水源(Origin Water), Veolia
就地清洗站(CIP)
按温度、浓度、流量和时间清洗罐和管道。任一项不达标,这次清洗就不算数。
协议: OPC UA · Modbus TCP
5 个品牌: Alfa Laval, Cytiva, GEA, Sartorius, 东富龙(Tofflon)
军团菌监测
按水温、余氯和停留时间评估军团菌风险(ASHRAE 188 水管理计划)。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · Modbus RTU
5 个品牌: Grundfos, Hach, KEMPER, 碧水源智能(Origin Smart), Sloan
冷凝水回收
回收冷凝水省水省燃料;电导率升高说明有换热器内漏。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · Modbus RTU
4 个品牌: Armstrong International, 耐普(Naipu), Spirax Sarco, Watson McDaniel
软化水装置
去除硬度保护锅炉、加湿器和冷却塔;再生和盐量要跟上。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU
4 个品牌: BWT, Culligan, Kinetico, 润新(Runxin)
生活热水机组
储罐保持 140°F 以上防止军团菌,出水混到约 120°F 防止烫伤。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · KNX
7 个品牌: A. O. Smith, AERCO, Armstrong International, Lochinvar, PVI Industries, Stiebel Eltron, Viessmann
生活热水循环
回水温度够高才能防军团菌(ASHRAE 188),也让用户开阀即有热水。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
5 个品牌: Armstrong International, Grundfos, KEMPER, Lochinvar, 万和(Vanward)
生活水加压泵组
把市政水压提升到高层需要的压力。停了高区就没水。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学 · 通用与离散制造 · 铜管与金属加工 · 商业建筑 · 医疗卫生
8 个品牌: ABB, 南方泵业(CNP), Ebara, Grundfos, 凯泉(Kaiquan), KSB, 连成(Liancheng), Wilo
水箱 / 水池液位
生活、消防或冷却补水水箱;消防水池的水量不能低于设计值。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
酸碱中和系统
把酸碱废水中和到排放许可范围(通常 pH 6–9)后排入市政管网。超标排放会被罚款甚至停产。
协议: Modbus TCP · OPC UA · BACnet/IP
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学 · 通用与离散制造
5 个品牌: 光大水务(Everbright Water), Evoqua, Hach, 碧水源(Origin Water), ProMinent
污水提升泵站
把低处的排水提升到处理站或市政管网。高液位报警不处理就会溢流。
协议: Modbus TCP · DNP3 · BACnet/IP · OPC UA · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路
7 个品牌: 光大水务(Everbright Water), Grundfos, 凯泉(Kaiquan), 碧水源(Origin Water), Wilo, Xylem, Zoeller
污水提升器 / 隔油池
地下室污水提升和厨房隔油池;高液位意味着要溢流。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
5 个品牌: 凯泉(Kaiquan), Liberty Pumps, VEGA, Wilo, Zoeller
研磨废水处理
化学机械研磨(CMP)废液含大量细颗粒,经超滤后回用或排放。出水浊度反映处理效果。
协议: Modbus TCP · OPC UA
适用行业: 半导体与集成电路
4 个品牌: 光大水务(Everbright Water), Kurita, 碧水源(Origin Water), Veolia
蒸汽疏水阀监测
漏汽的疏水阀每年浪费大量燃料,堵塞的会造成水击。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · OPC UA · Modbus RTU
适用行业: 生物医药与生命科学 · 通用与离散制造 · 医疗卫生
5 个品牌: Armstrong International, Emerson, 耐普(Naipu), Spirax Sarco, TLV
注射用水回路(WFI)
80°C 热循环的注射用水,温度低于约 167°F(75°C)就失去自消毒能力。电导率和 TOC 超标的水不能用于生产。
协议: Modbus TCP · OPC UA
适用行业: 生物医药与生命科学
5 个品牌: BWT, MECO, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Stilmas
紫外 TOC 降解器
185 nm 紫外光分解水中的有机物。灯管衰减后 TOC 会上升。
协议: Modbus TCP · OPC UA
适用行业: 半导体与集成电路
4 个品牌: Evoqua, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Xylem
总排口监测
全厂废水排放口的流量、pH、COD、氟离子和温度,是排放许可和市政上报的依据。只读。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · EtherNet/IP · OPC UA · Modbus RTU · DNP3
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 通用与离散制造
12 个品牌: ABB, 川仪(Chuanyi), Endress+Hauser, Hach, Krohne, 碧水源(Origin Water), Rosemount, 上自仪(SAI), Siemens, VEGA, Xylem, Yokogawa
表里没有的品牌也能接入:只要设备支持任一标准协议,就先按协议通用模板接入,再按厂家点表调整。