气体与真空
大宗气体、特气柜、压缩空气（CDA）和真空泵：生产机台的“血液”，断供即停机，泄漏关系人身安全。 18 种设备类型.
厂务真空系统
给真空吸笔、吸盘和清洁系统提供真空。
协议: Modbus TCP
适用行业: 半导体与集成电路 · 新能源制造 · 通用与离散制造
4 个品牌: Busch, Dekker Vacuum, Ebara, Edwards
储罐区液位
原料和成品储罐的液位、温度和高高液位联锁（只读）。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU · OPC UA
适用行业: 半导体与集成电路 · 通用与离散制造 · 玻璃制造
9 个品牌: 迪川（Dichuan）, Emerson, Endress+Hauser, Flowline, Honeywell, Siemens, 中控技术（SUPCON DCS）, Veeder-Root, VEGA
大宗化学品供应系统
把酸、碱、溶剂和显影液等从储罐经双层管送到机台。漏液由接液盘和夹层探测，切断由系统自己完成。
协议: Modbus TCP · OPC UA
4 个品牌: Air Liquide, Entegris, Kinetics, 至纯科技（PNC）
大宗气体供应
液氮、液氧、液氩储罐或氢气管束，经汽化器后以稳定压力供给全厂。液位低要提前叫车；汽化器出口过冷说明用量超过汽化能力。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学 · 铜管与金属加工 · 玻璃制造
10 个品牌: Air Liquide, Air Products, Airgas, Applied Energy Systems, Chart Industries, CKD, 杭氧（Hangyang）, 华特气体（Huate）, Linde, Matheson
氮气纯化器
把大宗氮气纯化到 ppb 级，O₂ 和水分穿透会影响良率。
协议: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
4 个品牌: Entegris, 大连华邦（Huabang）, Japan Pionics, SAES Pure Gas
阀门分配箱（VMB/VMP）
把一路特气分配到多台机台的阀箱，箱体有排风和泄漏探测。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
6 个品牌: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, 华特气体（Huate）, Matheson, 至纯科技（PNC）
工艺真空泵
机台腔体下面的干式真空泵。泵停或入口压力升高会让工艺中断甚至晶圆报废；氮气吹扫防止腐蚀和粉尘沉积。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU
6 个品牌: Busch, Ebara, Edwards, Kashiyama, Leybold, Pfeiffer Vacuum
化学品稀释单元
把浓化学品按比例稀释后供给机台，浓度偏离会影响工艺。
协议: Modbus TCP · OPC UA
空压机
压缩空气是工厂的"第四种能源"，驱动气缸、喷枪和工具。两台运行一台备用。
协议: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
适用行业: 电子与平板显示 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学 · 通用与离散制造 · 铜管与金属加工 · 玻璃制造
9 个品牌: 博莱特（Bolaite）, 复盛（Fusheng）, Gardner Denver, Hitachi, Ingersoll Rand, Kaeser, 开山（Kaishan）, Quincy Compressor, Sullair
离心式空压机（CDA）
大型无油离心空压机，为气动阀和机台提供洁净干燥压缩空气（CDA）。跳一台时其他机组要在几十秒内补上，否则总管压力下跌，机台报警停机。
协议: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造
3 个品牌: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser
氢气 / 液氮汽化器
把液氮、液氧或液氢气化；出口温度过低会冻裂下游管路。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学
4 个品牌: Chart Industries, Cryoquip, 富瑞特装（Furui）, Linde
特气柜
装有毒、可燃或腐蚀性气体钢瓶的排风柜，带自动吹扫、过流切断和自动切断阀。切断由气柜和 GMS 自己完成，平台只监视。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造
7 个品牌: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, 华特气体（Huate）, Linde, Matheson, 至纯科技（PNC）
特气用量计量
按气体统计用量和可供天数，用于成本分摊和提前订瓶。只读。
协议: Modbus TCP · EtherNet/IP
8 个品牌: Applied Energy Systems, Brooks Instrument, CKD, Horiba STEC, 华特气体（Huate）, Matheson, MKS Instruments, 北方华创（NAURA）
吸附式干燥机
把压缩空气露点降到约 −94°F（−70°C）。露点升高意味着水分进入 CDA 管网。
协议: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学
6 个品牌: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, 杭州山立（Shanli）, Sullair
现场制氮装置
PSA 或深冷空分现场制氮。纯度不合格时切到液氮后备。
协议: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 铜管与金属加工 · 玻璃制造
6 个品牌: Air Products, Atlas Copco, 杭氧（Hangyang）, 苏州恒大（Hengda）, Parker Hannifin, Peak Scientific
压缩空气总管
总管压力是用气设备真正拿到的压力。低于约 95 psi 时气动工具和夹具会失灵。
协议: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
适用行业: 生物医药与生命科学 · 通用与离散制造 · 铜管与金属加工 · 玻璃制造
6 个品牌: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, 杭州山立（Shanli）, Sullair
研磨液供应系统
把 CMP 研磨液混配后循环送到机台。大颗粒计数升高会造成晶圆划伤。
协议: Modbus TCP · OPC UA
适用行业: 半导体与集成电路
4 个品牌: Air Liquide, Entegris, Kinetics, 至纯科技（PNC）
CDA 总管
全厂 CDA 的压力、露点和用量。机台真正拿到的是这个压力。
协议: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造
6 个品牌: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, 杭州山立（Shanli）, Sullair
表里没有的品牌也能接入：只要设备支持任一标准协议，就先按协议通用模板接入，再按厂家点表调整。