가스 및 진공
벌크 가스, 특수가스 캐비닛, 청정 건조공기, 진공 펌프가 모든 설비에 공급됩니다. 공급을 잃으면 설비가 멈추며, 누출은 인명 안전 문제입니다. 장비 유형 18개.
공기 압축기
압축공기는 공장의 '제4의 유틸리티'로 실린더, 스프레이 건, 공구를 구동합니다. 두 대가 운전하고 한 대는 대기합니다.
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사용 산업: 전자 및 평판 디스플레이 · 신에너지 제조 · 바이오 제약 및 생명과학 · 일반 및 개별 제조 · 동관 및 금속 가공 · 유리 제조
브랜드 9개: Bolaite, Fusheng, Gardner Denver, Hitachi, Ingersoll Rand, Kaeser, Kaishan, Quincy Compressor, Sullair
공정 진공 펌프
공정 챔버 아래의 건식 펌프입니다. 펌프가 멈추거나 흡입 압력이 오르면 공정이 중단되고 제품이 폐기될 수 있으며, N2 퍼지는 부식과 분말 퇴적을 방지합니다.
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사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이
브랜드 6개: Busch, Ebara, Edwards, Kashiyama, Leybold, Pfeiffer Vacuum
극저온 기화기
액체 질소, 산소, 수소를 기화합니다. 출구 가스가 너무 차가우면 하류 배관에 균열이 생깁니다.
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사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 신에너지 제조 · 바이오 제약 및 생명과학
브랜드 4개: Chart Industries, Cryoquip, Furui, Linde
밸브 매니폴드 박스
배기되고 누출을 감시하는 박스 안에서 특수가스 라인 하나를 여러 설비로 분기합니다.
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사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이
브랜드 6개: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, Huate, Matheson, PNC
벌크 가스 공급
액체 질소, 산소, 아르곤 탱크 또는 수소 튜브 트레일러를 기화하여 일정한 압력으로 공급합니다. 잔량이 낮으면 배송을 요청해야 하며, 기화기 출구가 매우 차가우면 수요가 기화기 용량을 초과한 것입니다.
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브랜드 10개: Air Liquide, Air Products, Airgas, Applied Energy Systems, Chart Industries, CKD, Hangyang, Huate, Linde, Matheson
벌크 화학물질 공급 시스템
산, 염기, 용제, 현상액을 저장소에서 이중 격납 배관을 통해 설비로 공급합니다. 누출은 드립 팬과 환형 공간에서 감지되며 시스템이 스스로 차단합니다.
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브랜드 4개: Air Liquide, Entegris, Kinetics, PNC
압축공기 헤더
헤더 압력은 공구가 실제로 받는 압력입니다. 약 95 psi 아래로 떨어지면 공압 공구와 클램프가 오작동하기 시작합니다.
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브랜드 6개: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
질소 정제기
벌크 질소를 ppb 수준으로 정제합니다. O₂나 수분이 돌파하면 수율에 악영향을 줍니다.
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브랜드 4개: Entegris, Huabang, Japan Pionics, SAES Pure Gas
청정 건조공기 압축기
밸브와 설비에 청정 건조공기를 공급하는 대형 무급유 원심 압축기입니다. 한 대가 트립하면 나머지가 몇 초 안에 인수해야 하며, 그렇지 않으면 헤더 압력이 처져 설비가 경보와 함께 정지합니다.
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브랜드 3개: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser
탱크 야드 레벨
원료 및 제품 탱크: 레벨, 온도, 고고위(high-high) 인터록(읽기 전용).
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브랜드 9개: Dichuan, Emerson, Endress+Hauser, Flowline, Honeywell, Siemens, SUPCON DCS, Veeder-Root, VEGA
특수가스 사용량 계량기
비용 배분과 실린더 주문을 위해 가스별 사용량과 공급 가능 일수를 추적합니다. 읽기 전용.
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브랜드 8개: Applied Energy Systems, Brooks Instrument, CKD, Horiba STEC, Huate, Matheson, MKS Instruments, NAURA
특수가스 캐비닛
독성, 가연성, 부식성 실린더를 담은 배기 인클로저로, 자동 퍼지, 과류 및 자동 차단 밸브를 갖추고 있습니다. 차단은 캐비닛과 GMS가 수행하며 플랫폼은 감시만 합니다.
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브랜드 7개: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, Huate, Linde, Matheson, PNC
하우스 진공 시스템
웨이퍼 완드, 척, 세정 시스템에 진공을 제공합니다.
프로토콜: Modbus TCP
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브랜드 4개: Busch, Dekker Vacuum, Ebara, Edwards
현장 질소 발생기
PSA 또는 극저온 방식의 현장 질소. 순도가 벗어난 출력은 사이트를 액체 질소 백업으로 전환합니다.
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브랜드 6개: Air Products, Atlas Copco, Hangyang, Hengda, Parker Hannifin, Peak Scientific
화학물질 희석 유닛
농축 화학물질을 설비가 요구하는 비율로 혼합합니다. 농도가 흔들리면 공정에 악영향을 줍니다.
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흡착식 에어 드라이어
압축공기를 약 −94°F(−70°C) 이슬점까지 건조합니다. 이슬점이 오르면 CDA 네트워크에 수분이 들어오고 있다는 뜻입니다.
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브랜드 6개: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
CDA 헤더
사이트 전체의 CDA 압력, 이슬점, 수요 — 설비가 실제로 받는 압력입니다.
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브랜드 6개: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
CMP 슬러리 공급
CMP 슬러리를 혼합하여 연마기로 순환시킵니다. 대입자 수가 증가하면 웨이퍼 스크래치가 발생합니다.
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브랜드 4개: Air Liquide, Entegris, Kinetics, PNC
목록에 없는 브랜드라도 장치가 지원되는 프로토콜 중 하나를 사용하면 연결할 수 있습니다. 범용 프로토콜 템플릿에서 시작하여 제조사의 포인트 목록에 맞게 조정합니다.