NAURA
FacilityOS는 네트워크 스캔 중에 NAURA 장비를 인식하고 Modbus TCP, OPC UA로 연결합니다.
제품군
| 제품군 | 장비 유형 | 프로토콜 | |
|---|---|---|---|
| 특수가스 사용량 계량기CS200 · D07 | 특수가스 사용량 계량기 | Modbus TCP | 확인 필요 |
| PECVD 코터 / 확산로 / CZ 결정 인상기HORIS · NMC612 · THEORIS | PECVD 코터, 확산로, CZ 결정 인상기 | OPC UA | 확인 필요 |
확인 필요 사용 전에 제조사의 레지스터 목록과 대조하여 포인트 맵을 확인해야 합니다.
목록에 없는 브랜드라도 장치가 지원되는 프로토콜 중 하나를 사용하면 연결할 수 있습니다. 범용 프로토콜 템플릿에서 시작하여 제조사의 포인트 목록에 맞게 조정합니다.