北方华创（NAURA）
FacilityOS 在掃描網路時識別 北方华创（NAURA） 裝置，並通過 Modbus TCP, OPC UA 接入。
地區: 中國 · 類別: 氣體與真空, 生產工藝
產品系列
| 產品系列 | 裝置型別 | 協議 | 接入方式 | |
|---|
| 质量流量控制器 / 半导体设备CS200 · D07 | 特氣用量計量 | Modbus TCP | RS-485 / Modbus | 待核對 |
| 刻蚀 / 薄膜 / 立式炉 / 单晶炉HORIS · NMC612 · THEORIS | PECVD 鍍膜裝置, 擴散爐, 單晶爐 | OPC UA | SECS/GEM（HSMS）經裝置主機閘道器，或 OPC UA | 待核對 |
待核對 點表使用前需按廠家暫存器表核對。
表裡沒有的品牌也能接入：只要裝置支援任一標準協議，就先按協議通用模板接入，再按廠家點表調整。
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