潔淨室
新風機組、迴圈空調、風機過濾單元(FFU)、房間壓差和粒子計數:潔淨度一失守,在製品就可能報廢。 20 種裝置型別.
傳遞窗 / 氣鎖互鎖
兩側門不能同時開啟,否則潔淨級別被破壞。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
3 個品牌: Esco Lifesciences, 苏净(Sujing), Terra Universal
動物房
實驗動物房的溫溼度、負壓、換氣和光照週期都影響研究資料的有效性。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
適用行業: 生物醫藥與生命科學
9 個品牌: Antec Controls, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI
風機過濾單元組(FFU)
天花板上成百臺帶高效過濾器的小風機,向下吹出潔淨氣流。幾臺故障問題不大,成片故障會讓該區域潔淨度超標。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
6 個品牌: AAF Flanders, Camfil, Envirco, Price Industries, 苏净(Sujing), 中建环保(Zhongjian Huanbao)
迴圈空調箱(RCU)
把潔淨室迴風經幹盤管降溫後再送回 FFU 上方的靜壓箱,帶走機臺的顯熱。
協議: BACnet/IP
加溼器
電極、電熱、噴霧或蒸汽加溼,維持房間或機房溼度。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路 · 生物醫藥與生命科學 · 資料中心 · 醫療衛生
4 個品牌: Carel, Condair, DriSteem, 万家乐(Macro)
潔淨區
潔淨區必須比相鄰區域保持正壓(通常 0.02–0.06 inWC),溫溼度穩定。壓差反轉意味著髒空氣流進來。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學
12 個品牌: Antec Controls, Dwyer, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI
潔淨室監控彙總(FMCS)
廠務監控系統對全部潔淨區的彙總:最差區域粒子數、FFU 故障總數和超限區域數。只讀。
協議: OPC UA · Modbus TCP · BACnet/IP
4 個品牌: 安科瑞(Acrel), Honeywell, Johnson Controls, Siemens
靜電防護監測
連續監測腕帶、工作臺接地和車間溼度(ANSI/ESD S20.20)。溼度過低靜電風險上升。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU
適用行業: 電子與平板顯示
3 個品牌: Desco, 尚普(Shangpu), Simco-Ion
空調箱
空調箱把處理過的空氣送到它負責的區域(辦公區、會議室、車間等),決定這些區域的溫度和舒適度。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
適用行業: 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 通用與離散製造
26 個品牌: Alerton, Automated Logic, Contemporary Controls, Daikin, 达实(Dashi), Delta Controls, Distech Controls, FläktGroup, Honeywell, Johnson Controls, Kieback&Peter, KMC Controls, Priva, Reliable Controls, Sauter, Schneider Electric, Siemens, 浙大中控(SUPCON), Swegon, Systemair, 天津天大求实(Tianda Qiushi), 天加(TICA), Trane, Trend Control Systems, Tridium, 同方人工环境(Tsinghua Tongfang)
粒子計數器
連續計數空氣中 0.1–5 µm 的粒子(每立方英尺),換算成 ISO 14644-1 等級。超出目標等級時產品有被汙染的風險。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造
7 個品牌: Beckman Coulter, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Rion, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), TSI
氣態分子汙染(AMC)監測
潔淨室空氣中的酸、鹼、有機物和摻雜物,光刻區尤其敏感。
協議: Modbus TCP
4 個品牌: 聚光科技(Focused Photonics), Particle Measuring Systems, Picarro, TOFWERK
乾燥房
鋰電池電芯組裝的乾燥房露點必須保持在 −40°F(−40°C)以下,水分會與電解液反應生成氫氟酸,損壞電芯。人越多、門開得越久,露點越高。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
適用行業: 新能源製造
13 個品牌: Antec Controls, Bry-Air, 杰利(Jieli), Munters, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI, Vaisala
生物安全櫃
前窗吸入氣流保護操作者,下降氣流保護樣品。風速失常時櫃子不再提供防護(NSF/ANSI 49 認證)。
協議: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
5 個品牌: Esco Lifesciences, 海尔生物(Haier Biomedical), Labconco, NuAire, The Baker Company
通風櫃
面風速約 100 fpm 時能把化學煙霧留在櫃內。風量不足的報警必須馬上處理。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP
5 個品牌: Esco Lifesciences, Labconco, Phoenix Controls, Strobic Air, Waldner
微振動監測
光刻和量測機臺需要 VC-C 到 VC-E 級的地面振動。
協議: Modbus TCP · OPC UA
4 個品牌: Brüel & Kjær Vibro, 东方所(COINV), Colin Gordon Associates, Rion
新風機組(MAU)
把室外空氣過濾、冷卻、加溼後送入潔淨室,控制全廠的溼度(露點)並補充排風帶走的空氣。停一臺,潔淨室壓差和溼度就會失守。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP
適用行業: 半導體與積體電路 · 電子與平板顯示 · 新能源製造 · 生物醫藥與生命科學
8 個品牌: Daikin, Daikin Applied, FläktGroup, Greenheck, Huntair, Modine, Reznor, Trane
轉輪除溼機
用吸溼轉輪把送風露點降到 −60°F 左右,再用高溫空氣再生轉輪。轉輪停轉或再生溫度不足,乾燥房露點幾分鐘內就會上升。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
適用行業: 新能源製造
5 個品牌: Bry-Air, 杰利(Jieli), Munters, Seibu Giken, SEMCO
A 級區(RABS/隔離器)
無菌灌裝的單向流 A 級區。≥0.5 µm 粒子限值 3,520/m³(約 100/ft³),風速約 90 fpm(0.45 m/s)。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
適用行業: 生物醫藥與生命科學
11 個品牌: Antec Controls, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI
GMP 環境監測系統(EMS)
經過驗證的獨立監測系統,記錄潔淨間和冷鏈的超限事件(21 CFR Part 11)。平臺顯示它的彙總,不替代它。
協議: Modbus TCP · Modbus RTU · MQTT · OPC UA
適用行業: 生物醫藥與生命科學
6 個品牌: 精创(Elitech), Ellab, Kaye, 建大仁科(Renke), Rotronic, Vaisala
GMP 潔淨間
按 EU GMP 附錄 1 分級(B/C/D)的潔淨間:對低級別區域保持 10–15 Pa(約 0.04–0.06 inWC)正壓梯度,溫溼度和粒子數在限值內。
協議: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU · OPC UA
適用行業: 生物醫藥與生命科學
11 個品牌: Antec Controls, Phoenix Controls, Price Industries, Rotronic, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI, Vaisala
表裡沒有的品牌也能接入:只要裝置支援任一標準協議,就先按協議通用模板接入,再按廠家點表調整。