洁净室
新风机组、循环空调、风机过滤单元(FFU)、房间压差和粒子计数:洁净度一失守,在制品就可能报废。 20 种设备类型.
传递窗 / 气锁互锁
两侧门不能同时打开,否则洁净级别被破坏。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
3 个品牌: Esco Lifesciences, 苏净(Sujing), Terra Universal
动物房
实验动物房的温湿度、负压、换气和光照周期都影响研究数据的有效性。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
适用行业: 生物医药与生命科学
9 个品牌: Antec Controls, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI
风机过滤单元组(FFU)
天花板上成百台带高效过滤器的小风机,向下吹出洁净气流。几台故障问题不大,成片故障会让该区域洁净度超标。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
6 个品牌: AAF Flanders, Camfil, Envirco, Price Industries, 苏净(Sujing), 中建环保(Zhongjian Huanbao)
干燥房
锂电池电芯组装的干燥房露点必须保持在 −40°F(−40°C)以下,水分会与电解液反应生成氢氟酸,损坏电芯。人越多、门开得越久,露点越高。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
适用行业: 新能源制造
13 个品牌: Antec Controls, Bry-Air, 杰利(Jieli), Munters, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI, Vaisala
加湿器
电极、电热、喷雾或蒸汽加湿,维持房间或机房湿度。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路 · 生物医药与生命科学 · 数据中心 · 医疗卫生
4 个品牌: Carel, Condair, DriSteem, 万家乐(Macro)
洁净区
洁净区必须比相邻区域保持正压(通常 0.02–0.06 inWC),温湿度稳定。压差反转意味着脏空气流进来。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学
12 个品牌: Antec Controls, Dwyer, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI
洁净室监控汇总(FMCS)
厂务监控系统对全部洁净区的汇总:最差区域粒子数、FFU 故障总数和超限区域数。只读。
协议: OPC UA · Modbus TCP · BACnet/IP
4 个品牌: 安科瑞(Acrel), Honeywell, Johnson Controls, Siemens
静电防护监测
连续监测腕带、工作台接地和车间湿度(ANSI/ESD S20.20)。湿度过低静电风险上升。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU
适用行业: 电子与平板显示
3 个品牌: Desco, 尚普(Shangpu), Simco-Ion
空调箱
空调箱把处理过的空气送到它负责的区域(办公区、会议室、车间等),决定这些区域的温度和舒适度。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
适用行业: 电子与平板显示 · 新能源制造 · 通用与离散制造
26 个品牌: Alerton, Automated Logic, Contemporary Controls, Daikin, 达实(Dashi), Delta Controls, Distech Controls, FläktGroup, Honeywell, Johnson Controls, Kieback&Peter, KMC Controls, Priva, Reliable Controls, Sauter, Schneider Electric, Siemens, 浙大中控(SUPCON), Swegon, Systemair, 天津天大求实(Tianda Qiushi), 天加(TICA), Trane, Trend Control Systems, Tridium, 同方人工环境(Tsinghua Tongfang)
粒子计数器
连续计数空气中 0.1–5 µm 的粒子(每立方英尺),换算成 ISO 14644-1 等级。超出目标等级时产品有被污染的风险。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造
7 个品牌: Beckman Coulter, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Rion, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), TSI
气态分子污染(AMC)监测
洁净室空气中的酸、碱、有机物和掺杂物,光刻区尤其敏感。
协议: Modbus TCP
4 个品牌: 聚光科技(Focused Photonics), Particle Measuring Systems, Picarro, TOFWERK
生物安全柜
前窗吸入气流保护操作者,下降气流保护样品。风速失常时柜子不再提供防护(NSF/ANSI 49 认证)。
协议: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
5 个品牌: Esco Lifesciences, 海尔生物(Haier Biomedical), Labconco, NuAire, The Baker Company
通风柜
面风速约 100 fpm 时能把化学烟雾留在柜内。风量不足的报警必须马上处理。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP
5 个品牌: Esco Lifesciences, Labconco, Phoenix Controls, Strobic Air, Waldner
微振动监测
光刻和量测机台需要 VC-C 到 VC-E 级的地面振动。
协议: Modbus TCP · OPC UA
4 个品牌: Brüel & Kjær Vibro, 东方所(COINV), Colin Gordon Associates, Rion
新风机组(MAU)
把室外空气过滤、冷却、加湿后送入洁净室,控制全厂的湿度(露点)并补充排风带走的空气。停一台,洁净室压差和湿度就会失守。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP
适用行业: 半导体与集成电路 · 电子与平板显示 · 新能源制造 · 生物医药与生命科学
8 个品牌: Daikin, Daikin Applied, FläktGroup, Greenheck, Huntair, Modine, Reznor, Trane
循环空调箱(RCU)
把洁净室回风经干盘管降温后再送回 FFU 上方的静压箱,带走机台的显热。
协议: BACnet/IP
转轮除湿机
用吸湿转轮把送风露点降到 −60°F 左右,再用高温空气再生转轮。转轮停转或再生温度不足,干燥房露点几分钟内就会上升。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
适用行业: 新能源制造
5 个品牌: Bry-Air, 杰利(Jieli), Munters, Seibu Giken, SEMCO
A 级区(RABS/隔离器)
无菌灌装的单向流 A 级区。≥0.5 µm 粒子限值 3,520/m³(约 100/ft³),风速约 90 fpm(0.45 m/s)。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
适用行业: 生物医药与生命科学
11 个品牌: Antec Controls, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI
GMP 环境监测系统(EMS)
经过验证的独立监测系统,记录洁净间和冷链的超限事件(21 CFR Part 11)。平台显示它的汇总,不替代它。
协议: Modbus TCP · Modbus RTU · MQTT · OPC UA
适用行业: 生物医药与生命科学
6 个品牌: 精创(Elitech), Ellab, Kaye, 建大仁科(Renke), Rotronic, Vaisala
GMP 洁净间
按 EU GMP 附录 1 分级(B/C/D)的洁净间:对低级别区域保持 10–15 Pa(约 0.04–0.06 inWC)正压梯度,温湿度和粒子数在限值内。
协议: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU · OPC UA
适用行业: 生物医药与生命科学
11 个品牌: Antec Controls, Phoenix Controls, Price Industries, Rotronic, Setra, Siemens, 苏净(Sujing), 苏信(Suxin), Triatek, TSI, Vaisala
表里没有的品牌也能接入:只要设备支持任一标准协议,就先按协议通用模板接入,再按厂家点表调整。