클린룸
외기 도입(MAU), 순환 공조기, 팬필터유닛, 실간 압력 캐스케이드, 입자 수. 청정도를 잃으면 공정 중 재공품이 폐기될 수 있습니다. 장비 유형 20개.
가습기
전극식, 저항식, 분무식, 증기식 가습으로 실내 습도를 유지합니다.
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 바이오 제약 및 생명과학 · 데이터센터 · 의료
공기 중 분자 오염(AMC) 모니터
클린룸 공기 중 산, 염기, 유기물, 도펀트. 리소그래피가 특히 민감합니다.
프로토콜: Modbus TCP
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이
브랜드 4개: Focused Photonics, Particle Measuring Systems, Picarro, TOFWERK
동물실
동물실의 온도, 습도, 압력, 환기 횟수, 광주기는 모두 연구의 유효성에 영향을 줍니다.
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
사용 산업: 바이오 제약 및 생명과학
브랜드 9개: Antec Controls, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI
드라이룸
셀 조립 드라이룸은 이슬점이 −40°F(−40°C) 이하여야 합니다. 수분이 전해액과 반응해 HF를 만들고 셀을 망칩니다. 사람이 많아지거나 문이 열리면 이슬점이 올라갑니다.
프로토콜: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
사용 산업: 신에너지 제조
브랜드 13개: Antec Controls, Bry-Air, Jieli, Munters, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI, Vaisala
바이오안전 캐비닛
유입 기류는 작업자를, 하강 기류는 작업물을 보호합니다. 기류가 범위를 벗어나면 캐비닛은 더 이상 보호하지 못합니다(NSF/ANSI 49 인증).
프로토콜: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
사용 산업: 바이오 제약 및 생명과학 · 의료
브랜드 5개: Esco Lifesciences, Haier Biomedical, Labconco, NuAire, The Baker Company
순환 공조기
클린룸 환기를 건식 코일로 냉각하여 팬필터유닛 위 플레넘으로 되돌려 보내며 설비의 열을 제거합니다.
프로토콜: BACnet/IP
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 바이오 제약 및 생명과학
에어핸들러
에어핸들러는 담당 공간(사무실, 회의실, 작업 공간)에 조화된 공기를 공급하여 온도와 쾌적성을 결정합니다.
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
사용 산업: 전자 및 평판 디스플레이 · 신에너지 제조 · 일반 및 개별 제조
브랜드 26개: Alerton, Automated Logic, Contemporary Controls, Daikin, Dashi, Delta Controls, Distech Controls, FläktGroup, Honeywell, Johnson Controls, Kieback&Peter, KMC Controls, Priva, Reliable Controls, Sauter, Schneider Electric, Siemens, SUPCON, Swegon, Systemair, Tianda Qiushi, TICA, Trane, Trend Control Systems, Tridium, Tsinghua Tongfang
외기 도입 유닛(MAU)
클린룸용 외기를 여과, 냉각, 가습합니다. 건물 습도(이슬점)를 결정하고 배기가 빼낸 공기를 보충합니다. 한 대를 잃으면 실 압력과 습도가 흔들립니다.
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이 · 신에너지 제조 · 바이오 제약 및 생명과학
브랜드 8개: Daikin, Daikin Applied, FläktGroup, Greenheck, Huntair, Modine, Reznor, Trane
입자 계수기
0.1~5 µm의 부유 입자를 세제곱피트당 계수하여 ISO 14644-1 등급으로 환산합니다. 목표 등급을 초과하면 제품이 오염될 위험이 있습니다.
프로토콜: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이 · 신에너지 제조
브랜드 7개: Beckman Coulter, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Rion, Sujing, Suxin, TSI
제습 로터 제습기
제습 로터가 급기를 약 −60°F 이슬점까지 건조하며 열풍으로 재생합니다. 로터가 멈추거나 재생 온도가 낮으면 몇 분 안에 드라이룸 이슬점이 상승합니다.
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
사용 산업: 신에너지 제조
브랜드 5개: Bry-Air, Jieli, Munters, Seibu Giken, SEMCO
클린룸 존
청정 존은 인접 구역에 대해 양압(통상 0.02–0.06 inWC)과 안정된 온도·습도를 유지해야 합니다. 압력이 역전되면 오염된 공기가 유입되고 있다는 뜻입니다.
프로토콜: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이 · 신에너지 제조 · 바이오 제약 및 생명과학
브랜드 12개: Antec Controls, Dwyer, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI
클린룸 FMCS 요약
시설 모니터링 시스템이 모든 청정 존을 취합한 요약: 최악 존 입자 수, FFU 고장 총수, 사양 이탈 존. 읽기 전용.
프로토콜: OPC UA · Modbus TCP · BACnet/IP
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이
브랜드 4개: Acrel, Honeywell, Johnson Controls, Siemens
패스스루 / 에어락 인터록
두 문이 동시에 열려서는 안 되며, 그렇지 않으면 청정 등급이 무너집니다.
프로토콜: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 바이오 제약 및 생명과학
브랜드 3개: Esco Lifesciences, Sujing, Terra Universal
팬필터유닛(FFU) 뱅크
HEPA/ULPA 필터를 갖춘 수백 개의 소형 천장 팬이 작업 영역 위로 청정 공기를 내려 보냅니다. 몇 개의 고장은 허용되지만, 고장이 한곳에 몰리면 해당 베이는 등급을 벗어납니다.
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이
브랜드 6개: AAF Flanders, Camfil, Envirco, Price Industries, Sujing, Zhongjian Huanbao
팹 미세진동 모니터
리소그래피와 계측 장비는 VC-C~VC-E 수준의 바닥이 필요합니다.
프로토콜: Modbus TCP · OPC UA
사용 산업: 반도체 및 IC 제조 · 전자 및 평판 디스플레이
브랜드 4개: Brüel & Kjær Vibro, COINV, Colin Gordon Associates, Rion
흄 후드
전면 풍속 약 100 fpm에서 화학 흄을 후드 안에 가둡니다. 저유량 경보는 즉시 조치가 필요합니다.
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP
사용 산업: 바이오 제약 및 생명과학 · 의료
브랜드 5개: Esco Lifesciences, Labconco, Phoenix Controls, Strobic Air, Waldner
A 등급 구역(RABS / 아이솔레이터)
무균 충전 위의 단방향 기류 A 등급 구역. 한도: 0.5 µm 이상 입자 m³당 3,520개(약 ft³당 100개); 기류 약 90 fpm(0.45 m/s).
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
사용 산업: 바이오 제약 및 생명과학
브랜드 11개: Antec Controls, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI
ESD 모니터링
손목 스트랩, 작업대 접지, 바닥 습도를 지속적으로 점검합니다(ANSI/ESD S20.20). 습도가 낮으면 ESD 위험이 커집니다.
프로토콜: Modbus TCP · Modbus RTU
사용 산업: 전자 및 평판 디스플레이
GMP 클린룸
EU GMP Annex 1에 따라 B, C 또는 D 등급으로 구분된 클린룸: 한 단계 낮은 등급에 대해 10–15 Pa(약 0.04–0.06 inWC)의 캐스케이드를 유지하며 온도, 습도, 입자가 한도 내여야 합니다.
프로토콜: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU · OPC UA
사용 산업: 바이오 제약 및 생명과학
브랜드 11개: Antec Controls, Phoenix Controls, Price Industries, Rotronic, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI, Vaisala
GMP 환경 모니터링 시스템
클린룸과 콜드체인 이탈을 기록하는 검증된 독립 시스템입니다(21 CFR Part 11). 플랫폼은 그 요약을 보여줄 뿐 대체하지 않습니다.
프로토콜: Modbus TCP · Modbus RTU · MQTT · OPC UA
사용 산업: 바이오 제약 및 생명과학
목록에 없는 브랜드라도 장치가 지원되는 프로토콜 중 하나를 사용하면 연결할 수 있습니다. 범용 프로토콜 템플릿에서 시작하여 제조사의 포인트 목록에 맞게 조정합니다.