クリーンルーム
外気処理機(メイクアップエア)、循環ユニット、ファンフィルタユニット、室間差圧のカスケード、パーティクルカウントを扱います。清浄度を失うと、仕掛品が廃棄になるおそれがあります。 20 機器タイプ.
ESD監視
リストストラップ、作業台の接地、床の湿度を継続的にチェックします(ANSI/ESD S20.20)。湿度が低いとESDのリスクが高まります。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
GMPクリーンルーム
EU GMP Annex 1に基づきグレードB、C、Dに区分されたクリーンルームです。1段下のグレードに対して10〜15 Pa(約0.04〜0.06 inWC)のカスケードを保ち、温度、湿度、粒子を限度内に収めます。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU · OPC UA
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス
11 ブランド: Antec Controls, Phoenix Controls, Price Industries, Rotronic, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI, Vaisala
GMP環境モニタリングシステム
クリーンルームとコールドチェーンの逸脱を記録する、バリデーション済みの独立したシステムです(21 CFR Part 11)。本プラットフォームはその集約を表示しますが、代替するものではありません。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU · MQTT · OPC UA
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス
エアハンドラ
エアハンドラは、担当する空間(オフィス、会議室、作業エリア)へ空調空気を供給し、その温度と快適性を決定します。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · 一般製造・組立製造
26 ブランド: Alerton, Automated Logic, Contemporary Controls, Daikin, Dashi, Delta Controls, Distech Controls, FläktGroup, Honeywell, Johnson Controls, Kieback&Peter, KMC Controls, Priva, Reliable Controls, Sauter, Schneider Electric, Siemens, SUPCON, Swegon, Systemair, Tianda Qiushi, TICA, Trane, Trend Control Systems, Tridium, Tsinghua Tongfang
クリーンルームFMCSサマリ
施設監視システムによる、全クリーンゾーンの集約です。最悪ゾーンの粒子数、FFU故障の合計、規格外のゾーン数を示します。読み取り専用です。
プロトコル: OPC UA · Modbus TCP · BACnet/IP
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
4 ブランド: Acrel, Honeywell, Johnson Controls, Siemens
クリーンルームゾーン
清浄ゾーンは、隣接エリアに対して陽圧(通常0.02〜0.06 inWC)を保ち、温度と湿度を安定させる必要があります。圧力が逆転すると、汚れた空気が流入していることを意味します。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス
12 ブランド: Antec Controls, Dwyer, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI
グレードAゾーン(RABS/アイソレータ)
無菌充填部上の一方向流グレードAゾーンです。限度値は0.5 µm以上の粒子で3,520個/m³(約100個/ft³)、風速は約90 fpm(0.45 m/s)です。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス
11 ブランド: Antec Controls, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI
デシカント除湿機
デシカントホイールが給気を露点約−60°Fまで乾燥させ、高温空気で再生されます。ホイールが停止したり、再生温度が低かったりすると、数分以内にドライルームの露点が上昇します。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: 新エネルギー製造
5 ブランド: Bry-Air, Jieli, Munters, Seibu Giken, SEMCO
ドライルーム
セル組立用ドライルームは、露点を−40°F(−40°C)未満に保つ必要があります。水分が電解液と反応してHFが生成され、セルが使用不能になります。人の増加やドアの開放により、露点が上昇します。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
使用業種: 新エネルギー製造
13 ブランド: Antec Controls, Bry-Air, Jieli, Munters, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI, Vaisala
パーティクルカウンタ
空気中の0.1〜5 µmの粒子を立方フィートあたりで計数し、ISO 14644-1のクラスに換算します。目標クラスを超えると、製品に汚染のリスクが生じます。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造
7 ブランド: Beckman Coulter, Lighthouse Worldwide Solutions, Particle Measuring Systems, Rion, Sujing, Suxin, TSI
パススルー/エアロックインターロック
両側のドアを同時に開けてはなりません。開けるとクリーン度のグレードが破られます。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス
3 ブランド: Esco Lifesciences, Sujing, Terra Universal
ヒュームフード
前面風速約100 fpmで、化学ヒュームをフード内に閉じ込めます。低流量警報には直ちに対応が必要です。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス · 医療
5 ブランド: Esco Lifesciences, Labconco, Phoenix Controls, Strobic Air, Waldner
ファブ微振動モニター
リソグラフィとメトロロジーには、VC-CからVC-Eの床が必要です。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
4 ブランド: Brüel & Kjær Vibro, COINV, Colin Gordon Associates, Rion
ファンフィルタユニット群
HEPA/ULPAフィルタを備えた数百台の小型天井ファンが、作業エリアへ清浄な空気を吹き下ろします。数台の故障は許容できますが、故障が集中するとそのベイはクラス外になります。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
6 ブランド: AAF Flanders, Camfil, Envirco, Price Industries, Sujing, Zhongjian Huanbao
安全キャビネット
流入気流が作業者を、ダウンフローが作業対象を保護します。風量が範囲外の場合、キャビネットはもう保護機能を果たしません(NSF/ANSI 49認証)。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス · 医療
5 ブランド: Esco Lifesciences, Haier Biomedical, Labconco, NuAire, The Baker Company
加湿器
電極式、抵抗式、噴霧式、または蒸気式の加湿で、室内湿度を維持します。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス · データセンター · 医療
外気処理機(MAU)
クリーンルーム用の外気をろ過、冷却、加湿します。建物の湿度(露点)を決定し、排気で失われる空気を補います。1台を失うと、室圧と湿度が変動します。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス
8 ブランド: Daikin, Daikin Applied, FläktGroup, Greenheck, Huntair, Modine, Reznor, Trane
空気中分子状汚染物質(AMC)モニター
クリーンルーム空気中の酸、塩基、有機物、ドーパントです。リソグラフィは特に敏感です。
プロトコル: Modbus TCP
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
4 ブランド: Focused Photonics, Particle Measuring Systems, Picarro, TOFWERK
循環空気ユニット
クリーンルームの還気をドライコイルで冷却し、ファンフィルタユニット上部のプレナムへ戻して、装置の発熱を除去します。
プロトコル: BACnet/IP
使用業種: 半導体・IC製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス
動物飼育室
動物室の温度、湿度、圧力、換気回数、明暗周期は、すべて研究の妥当性に影響します。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス
9 ブランド: Antec Controls, Phoenix Controls, Price Industries, Setra, Siemens, Sujing, Suxin, Triatek, TSI
掲載されていないブランドでも、対応プロトコルのいずれかで通信できる機器であれば接続できます。汎用プロトコルテンプレートから開始し、ベンダーのポイントリストに合わせて調整します。