機器	レベル	注目すべきポイント	注記
大型遠心チラー	必須	CHW供給温度 · CHW還り温度 · 負荷 · 消費電力 · 効率(kW/ton) · 故障	BACnet/IP接続の1000トン級遠心チラー(Trane、York、Carrier、Daikin)で、通常はN+1構成です。
冷却塔セル	必須	冷却塔出口水温 · 冷却塔入口水温 · ファン速度 · 水槽レベル · 水の導電率 · ファン振動
ポンプ	必須	運転中 · 速度 · 差圧	冷水ポンプと冷却水ポンプで、ドライブは通常Modbus TCPです。
プロセス冷却水ループ	必須	供給温度 · 還り温度 · 供給圧力 · 供給・還り差圧 · ループ流量 · ループ導電率 · 漏水検知
熱回収チラー/ヒートポンプ	任意	温水供給温度 · 冷水供給温度(回収側) · 消費電力 · 総合COP	熱回収によりボイラのガス使用を置き換えます — 脱炭素化の主要な施策の一つです。
プロセスチラー電池モジュール/パック · PVセル · PVポリシリコン/ウェハー · PVモジュール · エネルギー貯蔵システム統合	一般的	プロセス水供給温度 · プロセス水還り温度 · 負荷
ドライクーラ/アディアバティッククーラ	一般的	出口流体温度

ドライルーム・クリーンエリア

水分は電解液と反応してHFを生成するため、ドライルームの露点はセル品質の生命線です。

機器	レベル	注目すべきポイント	注記
ドライルームLiイオン電池セル	必須	露点 · 室温 · 通路との差圧 · 入室人数 · エアロックドア開放状態	組立と注液は通常、露点−40°F(−40°C)以下で、一部は−60°Fまで下げます。
デシカント除湿機Liイオン電池セル	必須	給気露点 · 再生温度 · プロセス風量 · デシカントホイール回転中 · 電力(再生熱を含む)	Munters、Bry-Air、西部技研などのデシカントホイール。
外気処理機(MAU)Liイオン電池セル · PVセル · PVポリシリコン/ウェハー	必須	給気温度 · 給気露点 · 外気風量 · 最終フィルタ圧力損失
クリーンルームゾーンLiイオン電池セル · PVセル · PVポリシリコン/ウェハー	一般的	隣接室との差圧 · 室温 · 相対湿度 · 目標クラス(ISO 14644-1)	ISO 7~8のエリア。
パーティクルカウンタLiイオン電池セル · PVセル	任意	粒子 ≥ 0.5 µm · 測定クラス(ISO相当)
エアハンドラ電池モジュール/パック · エネルギー貯蔵システム統合 · 水素/電解装置(オプション) · PVモジュール	一般的	給気温度 · ダクト静圧

プロセス:塗工、化成、ラミネート、試験

プロセス設備のユーティリティと安全の状態を監視します。

機器	レベル	注目すべきポイント	注記
電極塗工乾燥炉Liイオン電池セル	必須	オーブンゾーン温度 · 塗工速度 · オーブン排気風量 · 排気中溶剤(% LEL) · LELインターロック	NFPA 86の溶剤オーブンは通常、25 % LELでインターロックします。
化成・グレーディング設備Liイオン電池セル	必須	使用中チャンネル数 · 充電電力 · 回収放電エネルギー · 本日の電力量 · 最高温セル温度	回生式の化成では、放電エネルギーの大部分を回収します。
セル工場エネルギーKPILiイオン電池セル	一般的	本日の良品セル数 · セルあたりエネルギー · 化成の一次合格率 · 最悪のドライルーム露点 · NMP回収率(平均)
ラインエンド試験機電池モジュール/パック · エネルギー貯蔵システム統合	必須	本日の試験数 · 一次合格率 · 試験サイクル時間
ロボット溶接セル電池モジュール/パック	一般的	溶接電流 · 本日の部品数 · 安全ガード作動	レーザーまたは超音波によるセル溶接。
ポリシリコン反応炉PVポリシリコン/ウェハー	必須	ロッド表面温度 · 電源 · 水素供給 · トリクロロシラン供給 · クロロシラン漏洩	還元炉はポリシリコン工場で最大の電気負荷です。
CZ単結晶引上げ装置PVポリシリコン/ウェハー	必須	融液温度 · ヒーター電力 · 引上げ速度(in/h) · アルゴン流量 · 冷却水温度	冷却水や電源を失うとバッチが廃棄になります。UPSと予備の冷却水で備えてください。
ダイヤモンドワイヤソーPVポリシリコン/ウェハー	必須	ワイヤー速度 · ワイヤー張力 · クーラント温度 · ワイヤー断線
テクスチャ・洗浄槽PVセル	必須	テクスチャリング槽温度 · KOH濃度 · DI水流量 · 本日のウェハー数
拡散炉PVセル	必須	チューブ温度 · POCl3キャリア流量 · 排気吸引 · 本日のボート数
PECVD成膜装置PVセル	必須	チャンバー圧力 · RF電力 · シラン流量 · アンモニア流量 · プロセスガスアラーム	シランはガスキャビネットとGMSがインターロックし、本プラットフォームは監視のみを行います。
スクリーン印刷機PVセル	必須	印刷速度(ウェハー/h) · 破損 · 残ペースト量
焼成炉PVセル	必須	ピーク温度 · ベルト速度 · ゾーン温度偏差
セル測定・選別機PVセル	必須	平均効率 · Aグレード比率 · 本日の試験セル数
ストリンガPVモジュール	必須	はんだ付け温度 · 破損 · 本日のストリング数
PVモジュールラミネータPVセル · PVモジュール	必須	加熱プレート温度 · 真空度 · サイクル時間 · 本日のモジュール数
フレーミング装置PVモジュール	一般的	本日のフレーミング済みモジュール数 · 空気圧
EL検査PVモジュール	必須	ELの欠陥率 · 本日の試験モジュール数
IV試験機(ソーラーシミュレータ)PVモジュール	必須	平均Pmax · 放射照度(W/m²) · ランプ時間	IEC 60904に従い定期的に校正してください。
蓄電池エネルギー貯蔵コンテナエネルギー貯蔵システム統合	必須	充電状態 · 電力(+放電) · 最高温セル温度 · 最低セル電圧 · 最高セル電圧 · コンテナ空調運転中	工場試験と現地保管。
電解装置水素/電解装置(オプション)	必須	水素出力 · スタック電力 · スタック温度 · 水素純度 · O2中H2高
ラインコントローラ(OEE)電池モジュール/パック · PVセル · PVモジュール · エネルギー貯蔵システム統合	一般的	OEE · 出来高(個/h) · 部品あたりエネルギー
熱媒油ヒーター	一般的	出口油温 · 低流量トリップ

溶剤回収・除害

NMP回収によりコストを削減し、大気許可を維持します。

機器	レベル	注目すべきポイント	注記
NMP溶剤回収Liイオン電池セル	必須	入口NMP · 煙突NMP · 溶剤回収率 · 凝縮器コイル温度 · 回収NMPタンク	回収率は通常95 %超が求められます。
プロセス排気システム	必須	排気主ダクト静圧 · 排気風量 · 運転中のファン · 排気静圧低下	一般排気、熱排気、溶剤排気、酸排気を個別に監視します。ファンはN+1構成です。
酸排気スクラバLiイオン電池セル · PVセル · PVポリシリコン/ウェハー	一般的	循環液pH · 循環液流量	注液工程由来のHF、PV拡散・エッチング由来の酸ミスト、ポリシリコン工場のHCl。
VOC濃縮装置PVセル	任意	出口VOC · 除去効率
集じん機Liイオン電池セル · 電池モジュール/パック	一般的	フィルタ圧力損失 · 火花検知	電極粉末とレーザー溶接ヒューム。可燃性粉じんに注意してください。

CDA、窒素、水素

ドライルームには非常に乾燥したCDAが必要です。窒素は不活性化と溶接部のシールドに使用します。

機器	レベル	注目すべきポイント	注記
クリーンドライエア圧縮機Liイオン電池セル	必須	吐出圧力 · 出力 · 負荷 · 消費電力 · サージ検出 · 故障
空気圧縮機電池モジュール/パック · PVセル · PVポリシリコン/ウェハー · PVモジュール · エネルギー貯蔵システム統合 · 水素/電解装置(オプション)	必須	吐出圧力 · 負荷 · 消費電力 · 故障
デシカント式エアドライヤ	必須	圧力露点 · 圧力損失 · 再生温度 · 故障	一般的な圧力露点は−94°F(−70°C)です。
CDAヘッダ	必須	ヘッダ圧力 · ヘッダ露点 · 需要量
バルクガス供給	必須	タンクレベル · 供給圧力 · 気化器出口温度 · 流量 · 不純物 · 予備供給使用中	N2、O2、Ar、H2、CO2。タンクのテレメトリは、通常ガス供給会社が提供します。
オンサイト窒素発生装置	任意	製品O2含有量 · 出力 · 出口圧力 · 純度規格外(LINバックアップ使用中)
ハウス真空システムLiイオン電池セル · PVセル	一般的	真空度 · 運転中のポンプ
極低温気化器	一般的	出口ガス温度 · 出口温度低下

用水・排水

PVと水素には純水が必要で、塗工と洗浄では排水が発生します。

機器	レベル	注目すべきポイント
逆浸透(RO)装置PVセル · PVポリシリコン/ウェハー · 水素/電解装置(オプション)	一般的	透過水導電率 · 透過水流量
電気脱イオン(EDI)装置PVセル · PVポリシリコン/ウェハー · 水素/電解装置(オプション)	一般的	製品比抵抗
pH中和システムLiイオン電池セル · PVセル · PVポリシリコン/ウェハー	必須	処理水pH · 流量
最終放流水モニター	一般的	放流量 · 放流水pH · COD
給水加圧ポンプ	一般的	吐出圧力 · 流量

電力、蓄電、サブメーター

化成が最大の電気負荷です。現地の蓄電とPVでピークを削減します。

機器	レベル	注目すべきポイント	注記
中電圧受配電盤	必須	母線電圧 · 受電電流 · 有効電力 · 遮断器投入 · 保護トリップ · リレー異常	監視のみ — 遮断器の操作は一切行いません。
低圧受配電盤	必須	母線電圧 · 負荷電流 · 有効電力 · 力率 · 電流THD · 遮断器トリップ
電力用変圧器	必須	上部油温 · 巻線温度 · 負荷 · ガス/急激な圧力上昇警報 · 過温度警報
UPS	必須	負荷 · バッテリー稼働時間 · バイパス運転中	SNMP v3(UPS-MIB)。
UPSバッテリーストリングモニター	必須	ストリング電圧 · 最低ジャー電圧 · 最高ジャー電圧 · 最高ジャー内部抵抗 · 最高ジャー温度 · 充電状態	ジャーごとの抵抗トレンド管理(IEEE 1188に示される保守手法の一つ)。
発電機	一般的	運転中 · 出力電力 · 燃料タンクレベル · 始動バッテリー電圧 · AUTOではない
電力品質メーター	一般的	電圧THD · 電流THD · 本日の電圧サグ回数 · サグ/瞬停イベント	電圧サグは、トリップの隠れた一般的な原因です。
サイトユーティリティメーター	必須	サイト電力 · サイト電力(MW) · 本日の電力量 · 力率
エリアエネルギーメーター	必須	エリア電力 · 本日の電力量 · 15分デマンド · 力率	エネルギー分析とコスト配賦のため、工場棟またはシステムごとに子メーターで計量します。
都市ガスメーター	一般的	都市ガス流量 · 入熱量(1,037 BTU/scf) · 本日のガス使用量(scf)	都市ガスをscfhで表示し、発熱量によってBTU/hに換算します。
屋上太陽光インバータ	任意	太陽光発電出力 · 本日の電力量
モータコントロールセンタ電池モジュール/パック · PVセル · PVポリシリコン/ウェハー · PVモジュール	一般的	MCC負荷 · 電流 · 力率 · 電流THD
リングメインユニット(RMU)	一般的	SF6低下 · 故障表示器
絶縁監視装置(ITシステム)	一般的	絶縁抵抗 · 絶縁警報
マイクログリッドコントローラ	任意	系統連系点の電力授受 · 単独運転中
風力タービン	任意	出力 · 故障
静止形無効電力発生装置(SVG/STATCOM)	一般的	改善後PF · ユニット負荷 · 故障中のモジュール
動的電圧補償装置(DVR)	任意	本日補正したサグ回数 · バイパス運転中
ステップ電圧調整器	任意	タップ位置 · タップ限界
変圧器DGAモニター	一般的	水素 · アセチレン
負荷時タップ切替器制御(OLTC)	任意	タップ位置 · タップ故障 · 本日の動作回数
サージアレスタモニター	任意	総漏れ電流 · 抵抗分電流
サージ防護デバイス(SPD)状態	一般的	SPD故障 · バックアップ遮断器開
気象ステーション	一般的	外気温 · 風速

熱暴走・ガス・火災監視のみ

セルのベント(ガス放出)は熱暴走の最も早い予兆であり、対応できる時間は数分しかありません。

機器	レベル	注目すべきポイント	注記
熱暴走検知器Liイオン電池セル · 電池モジュール/パック · エネルギー貯蔵システム統合	必須	電解液オフガス · 水素 · 最高温点(IR) · ステージ1:オフガス検知 · ステージ2:熱暴走	化成、エージング保管庫、ESSエリアで必須です。
HF検知器Liイオン電池セル	必須	フッ化水素(HF) · 警報1(低) · 警報2(高)	電解液注液エリア。
水素検知器水素/電解装置(オプション) · エネルギー貯蔵システム統合 · PVポリシリコン/ウェハー	必須	水素(% LEL) · 警報1(低) · 警報2(高)
シラン検知器PVセル	必須	シラン(SiH4) · 警報1(低) · 警報2(高)	PECVDおよびガスキャビネット室。
アンモニア検知器PVセル	一般的	アンモニアレベル · アンモニア警報
特殊ガスキャビネットPVセル	一般的	シリンダ圧力 · キャビネット排気 · 過流量トリップ · キャビネット排気低下
可燃性ガス検知器Liイオン電池セル · PVセル	一般的	可燃性ガス(LEL) · ガスアラーム	溶剤エリア。
酸素欠乏モニター	必須	酸素 · 警報1(O2 19.5 %未満) · 警報2(O2 18 %未満)	窒素および不活性ガスエリア:19.5 %と18 %の2段階です。
火災報知ゾーン・連動	必須	火災報知 · 監視 · 障害 · 連動:エアハンドラ停止 · 連動:防火・防煙ダンパ閉鎖 · 連動:排煙設備運転中 · 連動:エレベーター呼び戻し	連動確認は、火災システムが本来の動作を行ったことを検証します。
火災報知盤	必須	火災報知 · 監視信号 · 障害信号	監視のみ(NFPA 72)。
吸引式煙検知器	一般的	煙濃度(%/ft) · アラート · 対処 · 火災1 · 風量異常
消火ポンプ	一般的	運転中 · システム圧力 · 電源欠相
スプリンクラー立上り管	一般的	立上り管圧力 · 流水アラーム · バルブ改変検知
漏水検知ケーブル	必須	漏水検知 · 漏洩までの距離 · 漏洩ゾーン · ケーブル断線または汚損
排煙ファン	一般的	運転中 · ダンパー動作未確認	排煙ファンまたは階段加圧ファン。監視のみ。
細霧消火システム	任意	ポンプユニット未準備 · 放出済み

セキュリティ・映像監視のみ

カメラとドアの状態、および映像連動:カメラをエリア、機器、アラームルールに関連付けます。アラーム発生時にはゲートウェイがONVIFスナップショットを取得してアラームに添付し、NVR/VMSへのライブビューリンクを付けます。Coreがカメラに直接接続することはありません。

機器	レベル	注目すべきポイント	注記
ビデオカメラ	一般的	オンライン · 録画中 · 動体検知 · 映像解析アラーム · 改ざん(遮蔽または移動)	VMS(Milestone、Genetecなど)経由の状態。アラーム発生時にはゲートウェイがONVIFスナップショットを取得してアラームに添付します。Coreがカメラに直接接続することはありません。
入退室管理ドア	一般的	ドア開 · ドア開放放置 · ドアこじ開け	ドアイベントをカメラ連動のトリガーにできます。
外周侵入検知	一般的	境界侵入アラーム

生命安全設備（火災報知、ガス検知、非常用電源切替）および保護機器は監視のみです。FacilityOS がこれらにコマンドを送ることは一切ありません。

規格とコンプライアンス

規格とコンプライアンス	注記
NFPA 855	リチウムイオン電池向けの離隔、検知、換気を含む、定置型エネルギー貯蔵システムの設置。
UL 9540	エネルギー貯蔵システムおよび機器の安全性。
UL 9540A	電池エネルギー貯蔵システムにおける熱暴走の延焼を評価する試験方法。
UL 1973	定置用および動力補助電源用の電池。
NFPA 86	オーブンおよび炉の規格(溶剤オーブンの可燃性蒸気管理)。
UN 38.3	リチウム電池の輸送試験。
IEC 61215 / IEC 61730	PVモジュールの設計適格性確認および安全適格性確認。
NFPA 2	水素技術コード(Hydrogen Technologies Code)。
EPA TSCA (NMP)	TSCAに基づく、NMPに関する米国EPAのリスク評価とリスク管理。
NFPA 72	国家火災警報・信号コード(National Fire Alarm and Signaling Code)。
IEC 62443	産業用オートメーション・制御システムのセキュリティ。

規格はその対象範囲とともに掲載しています。数値は一般的な目安であり、すべての施設に求められる要件ではありません。FacilityOS はお客様のコンプライアンス対応を支援しますが、施設を認証するものではありません。

プラットフォームが追跡する KPI

プラットフォームが追跡する KPI	注記
最悪のドライルーム露点	ドライルーム全体の最大露点(°F)。
NMP回収	回収量 ÷ 入口量、または各装置の平均。
セルあたりエネルギー	プラントkWh ÷ 良品セル数(または容量kWhあたりのkWh)。
化成エネルギー回収	回生エネルギー ÷ 放電エネルギー。
オフガスイベント	月次のステージ1/ステージ2イベント数。

レポート

レポート	注記
ドライルーム露点日報	室ごとの露点、在室状況、ドア開放、逸脱時間。
NMP回収・排出レポート	回収率、煙突濃度、超過時間。
化成エネルギーレポート	ラックグループごとのエネルギー、回収、セルあたりkWh。
熱暴走イベントレポート	検知タイムライン、隔離措置、影響を受けたロット。

導入の進め方

新エネルギー製造のプロジェクトを、調査・設計から調達、設置、コミッショニング、トレーニングまで、すべて、または必要な工程のみお引き受けします。

プロジェクト調査に回答するサービス一覧 →

デモサイト

スパークス電池セル工場

24時間365日稼働のリチウムイオンセル工場:NMP溶剤回収、露点−40°Fのドライルーム、熱暴走検知付き回生式化成、大型チラー、CDA。

スパークス電池セル工場のデモサイトを開くと、この業種をシミュレートされたライブデータで確認できます。プロセスグラフィック、ビデオウォール、アラーム訓練、遠隔調整を体験できます。

ライブデモを試す

新エネルギー製造

FacilityOS が役立つ点

使用するプラットフォームモジュール

施設管理・制御

電力監視システム

エネルギー管理システム

プロセス制御

保全管理

セグメント

Liイオン電池セル

電池モジュール/パック

PVポリシリコン/ウェハー

PVセル

PVモジュール

エネルギー貯蔵システム統合

水素/電解装置(オプション)

システムと機器

チラープラント・プロセス冷却