ガス・真空
バルクガス、特殊ガスキャビネット、クリーンドライエア、真空ポンプがすべての装置に供給されます。供給が途絶えれば装置が停止し、漏えいは人命安全に関わる問題です。 18 機器タイプ.
CDAヘッダ
サイト全体のCDA圧力、露点、需要量です — 装置が実際に受け取る圧力です。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造
6 ブランド: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
CMPスラリー供給
CMPスラリーを調合し、研磨装置へ循環供給します。大粒子数が増加すると、ウェハにスクラッチが発生します。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造
4 ブランド: Air Liquide, Entegris, Kinetics, PNC
オンサイト窒素発生装置
PSA方式または深冷方式のオンサイト窒素です。純度が規格外になると、サイトは液体窒素のバックアップに切り替わります。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · 銅管・金属加工 · ガラス製造
6 ブランド: Air Products, Atlas Copco, Hangyang, Hengda, Parker Hannifin, Peak Scientific
クリーンドライエア圧縮機
バルブや装置へクリーンドライエアを供給する、大型のオイルフリー遠心圧縮機です。1台がトリップしたら、他の機器が数秒以内に引き継がなければ、ヘッダ圧力が低下して装置が警報停止します。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造
3 ブランド: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser
タンクヤードレベル
原料・製品タンクです。レベル、温度、高高位インターロック(読み取り専用)を監視します。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · 一般製造・組立製造 · ガラス製造
9 ブランド: Dichuan, Emerson, Endress+Hauser, Flowline, Honeywell, Siemens, SUPCON DCS, Veeder-Root, VEGA
デシカント式エアドライヤ
圧縮空気を露点約−94°F(−70°C)まで乾燥させます。露点が上昇している場合は、CDA配管網に水分が混入しています。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス
6 ブランド: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
ハウス真空システム
ウェハワンド、チャック、洗浄システムへ真空を供給します。
プロトコル: Modbus TCP
使用業種: 半導体・IC製造 · 新エネルギー製造 · 一般製造・組立製造
4 ブランド: Busch, Dekker Vacuum, Ebara, Edwards
バルクガス供給
液体窒素、酸素、アルゴンのタンク、または水素チューブトレーラーを、気化して一定圧力で供給します。レベルが低い場合は納品を依頼してください。気化器出口が極端に冷たい場合は、需要が気化器の能力を超えていることを意味します。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス · 銅管・金属加工 · ガラス製造
10 ブランド: Air Liquide, Air Products, Airgas, Applied Energy Systems, Chart Industries, CKD, Hangyang, Huate, Linde, Matheson
バルク薬品供給システム
酸、塩基、溶剤、現像液を、保管場所から二重封じ込め配管を通じて装置へ供給します。漏えいはドリップパンと環状空間で検知され、システムは自動停止します。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
4 ブランド: Air Liquide, Entegris, Kinetics, PNC
バルブマニホールドボックス
1本の特殊ガスラインを、排気され漏えい監視された箱の中で、複数の装置へ分岐します。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
6 ブランド: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, Huate, Matheson, PNC
プロセス真空ポンプ
プロセスチャンバーの下に設置するドライポンプです。ポンプの停止や吸込圧力の上昇はプロセスの中断を招き、製品の廃棄につながるおそれがあります。N2パージは、腐食と粉体の堆積を防ぎます。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
6 ブランド: Busch, Ebara, Edwards, Kashiyama, Leybold, Pfeiffer Vacuum
圧縮空気ヘッダ
ヘッダ圧力は、工具が実際に受け取る圧力です。約95 psiを下回ると、空圧工具やクランプが不具合を起こし始めます。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス · 一般製造・組立製造 · 銅管・金属加工 · ガラス製造
6 ブランド: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
極低温気化器
液体窒素、酸素、水素を気化します。出口ガスが冷たすぎると、下流の配管が割れます。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス
4 ブランド: Chart Industries, Cryoquip, Furui, Linde
空気圧縮機
圧縮空気は工場の「第4のユーティリティ」で、シリンダ、スプレーガン、工具を駆動します。2台が運転し、1台が待機します。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · EtherNet/IP · Modbus RTU
使用業種: エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス · 一般製造・組立製造 · 銅管・金属加工 · ガラス製造
9 ブランド: Bolaite, Fusheng, Gardner Denver, Hitachi, Ingersoll Rand, Kaeser, Kaishan, Quincy Compressor, Sullair
窒素精製器
バルク窒素をppbレベルまで精製します。O₂や水分が破過すると、歩留まりに悪影響があります。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
4 ブランド: Entegris, Huabang, Japan Pionics, SAES Pure Gas
特殊ガスキャビネット
毒性、可燃性、腐食性のシリンダを収める排気付き筐体で、自動パージ、過流量、自動遮断バルブを備えます。遮断はキャビネットとGMSが行い、本プラットフォームは監視のみを行います。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造
7 ブランド: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, Huate, Linde, Matheson, PNC
特殊ガス使用量メーター
コスト配賦とシリンダ発注のため、ガスごとの使用量と残り日数を追跡します。読み取り専用です。
プロトコル: Modbus TCP · EtherNet/IP
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
8 ブランド: Applied Energy Systems, Brooks Instrument, CKD, Horiba STEC, Huate, Matheson, MKS Instruments, NAURA
薬液希釈ユニット
濃縮薬液を、装置が必要とする比率に調合します。濃度がずれると、プロセスに悪影響を及ぼします。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
掲載されていないブランドでも、対応プロトコルのいずれかで通信できる機器であれば接続できます。汎用プロトコルテンプレートから開始し、ベンダーのポイントリストに合わせて調整します。