Entegris
FacilityOS はネットワークスキャン中に Entegris の機器を識別し、Modbus TCP, OPC UA で接続します。
地域: 米国 · カテゴリ: ガス・真空
製品ファミリー
| 製品ファミリー | 機器タイプ | プロトコル | |
|---|---|---|---|
| Bulk chemical / slurry deliveryIntelliGen · BCD | バルク薬品供給システム, CMPスラリー供給 | Modbus TCP · OPC UA | 確認待ち |
| Chemical dilution / GateKeeper gas purifiersGateKeeper · InVue | 薬液希釈ユニット, 窒素精製器 | Modbus TCP · OPC UA | 確認待ち |
確認待ち 使用前に、ベンダーのレジスタ一覧でポイントマップを確認する必要があります。
掲載されていないブランドでも、対応プロトコルのいずれかで通信できる機器であれば接続できます。汎用プロトコルテンプレートから開始し、ベンダーのポイントリストに合わせて調整します。