Entegris
FacilityOS 在掃描網路時識別 Entegris 裝置，並通過 Modbus TCP, OPC UA 接入。
地區: 美國 · 類別: 氣體與真空
產品系列
| 產品系列 | 裝置型別 | 協議 | 接入方式 | |
|---|---|---|---|---|
| Bulk chemical / slurry deliveryIntelliGen · BCD | 大宗化學品供應系統, 研磨液供應系統 | Modbus TCP · OPC UA | SECS/GEM（HSMS）經裝置主機閘道器，或 OPC UA | 待核對 |
| Chemical dilution / GateKeeper gas purifiersGateKeeper · InVue | 化學品稀釋單元, 氮氣純化器 | Modbus TCP · OPC UA | 裝置 PLC：Modbus TCP / OPC UA / EtherNet/IP | 待核對 |
待核對 點表使用前需按廠家暫存器表核對。
表裡沒有的品牌也能接入：只要裝置支援任一標準協議，就先按協議通用模板接入，再按廠家點表調整。