水システム
超純水、精製水、WFI、プロセス冷却水、排水処理、給水ポンプとバルブ。水質と流量が歩留まりと排水基準の順守を左右します。 26 機器タイプ.
CIPスキッド
温度、濃度、流量、時間によって、タンクと配管を洗浄します。いずれか1つでも満たさなければ、洗浄は有効と認められません。
プロトコル: OPC UA · Modbus TCP
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス · 一般製造・組立製造
5 ブランド: Alfa Laval, Cytiva, GEA, Sartorius, Tofflon
CMPスラリー排水
化学機械研磨の排水には微細な粒子が多く含まれ、限外ろ過で回収または放流します。処理水の濁度から、その効果がわかります。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造
4 ブランド: Everbright Water, Kurita, Origin Water, Veolia
pH中和システム
酸性およびアルカリ性の排水を、下水へ放流する前に、排水許可の範囲(通常pH 6〜9)に中和します。違反すると、罰金や操業停止となります。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · BACnet/IP
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス · 一般製造・組立製造
5 ブランド: Everbright Water, Evoqua, Hach, Origin Water, ProMinent
UPWポリッシングループ
装置に供給される超純水:比抵抗18.2 MΩ·cm、TOC 1 ppb未満、溶存酸素と粒子は最小限です。いずれかがずれると、歩留まりに直接影響します。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
7 ブランド: Kurita, Mettler-Toledo Thornton, Nomura Micro Science, Organo, Pall, Veolia, Xylem
UV TOC低減装置
185 nmの紫外線が水中の有機物を分解します。ランプが劣化すると、TOCが徐々に上昇します。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造
4 ブランド: Evoqua, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Xylem
クリーンスチーム発生器
オートクレーブとSIP(定置蒸気滅菌)向けに、精製水からクリーンスチームをつくります。圧力が低いと、滅菌サイクルが不合格になります。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス
スチームトラップ監視
漏れているトラップは大量の燃料を浪費し、詰まったトラップはウォーターハンマーを引き起こします。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · OPC UA · Modbus RTU
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス · 一般製造・組立製造 · 医療
5 ブランド: Armstrong International, Emerson, Naipu, Spirax Sarco, TLV
ドレン回収ユニット
ドレンを回収し、水と燃料を節約します。導電率が上昇している場合は、熱交換器の漏れを意味します。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · Modbus RTU
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス · 一般製造・組立製造
4 ブランド: Armstrong International, Naipu, Spirax Sarco, Watson McDaniel
フッ素排水処理
エッチング排水からフッ素をフッ化カルシウムとして沈殿させます。処理水のフッ素は許可限度未満に保つ必要があります。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造
5 ブランド: Everbright Water, Evoqua, Kurita, Origin Water, Veolia
リフトステーション(揚水ポンプ場)
低所の排水を、処理設備または下水道へ汲み上げます。高水位警報を無視すると、溢水します。
プロトコル: Modbus TCP · DNP3 · BACnet/IP · OPC UA · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造
7 ブランド: Everbright Water, Grundfos, Kaiquan, Origin Water, Wilo, Xylem, Zoeller
レジオネラリスク監視
温度、残留消毒剤、滞留からレジオネラのリスクをスコア化します(ASHRAE 188水管理計画)。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · MQTT · Modbus RTU
5 ブランド: Grundfos, Hach, KEMPER, Origin Smart, Sloan
汚水排出ポンプ/グリーストラップ
地下の汚水汲み上げと、厨房のグリーストラップです。水位が高い場合は、溢水が迫っています。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
5 ブランド: Kaiquan, Liberty Pumps, VEGA, Wilo, Zoeller
逆浸透(RO)装置
超純水または精製水の最初の脱塩段階です。透過水の導電率が上昇している場合は、膜の汚れや損傷を意味します。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · BACnet/IP · EtherNet/IP · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス
16 ブランド: ABB, Chuanyi, Endress+Hauser, Evoqua, Hach, Krohne, Kurita, MECO, Organo, Pall, Rosemount, SAI, Siemens, VEGA, Veolia, Yokogawa
給水加圧ポンプ
上層階に届くよう、水道水の圧力を高めます。停止すると、高層ゾーンは断水します。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU · BACnet/IP
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス · 一般製造・組立製造 · 銅管・金属加工 · 商業ビル · 医療
8 ブランド: ABB, CNP, Ebara, Grundfos, Kaiquan, KSB, Liancheng, Wilo
給湯
貯湯を140°F以上に保つとレジオネラ属菌を防げます。給湯栓での混合温度を約120°Fにすると、やけどを防げます。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · KNX
7 ブランド: A. O. Smith, AERCO, Armstrong International, Lochinvar, PVI Industries, Stiebel Eltron, Viessmann
給湯循環
温かい返り湯がレジオネラ属菌を抑制し(ASHRAE 188)、給湯栓で直ちにお湯が出るようにします。
プロトコル: BACnet/IP · Modbus TCP · Modbus RTU
5 ブランド: Armstrong International, Grundfos, KEMPER, Lochinvar, Vanward
最終放流水モニター
サイト放流口での流量、pH、COD、フッ素、温度 — 排水許可およびユーティリティ報告書の根拠となります。読み取り専用です。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · EtherNet/IP · OPC UA · Modbus RTU · DNP3
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · 一般製造・組立製造
12 ブランド: ABB, Chuanyi, Endress+Hauser, Hach, Krohne, Origin Water, Rosemount, SAI, Siemens, VEGA, Xylem, Yokogawa
水回収システム
比較的きれいなプロセス排水を、冷却塔やUPW補給水として再利用するために処理し、水使用量を削減します。規格外の水は自動的に排水へ切り替えられます。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
4 ブランド: Everbright Water, Nomura Micro Science, Origin Water, Veolia
精製水ループ
常温でオゾン処理を行う精製水ループです。導電率(USP <645>)とTOC(USP <643>、500 ppb)が出荷判定の限度値です。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス
5 ブランド: BWT, MECO, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Stilmas
多重効用WFI蒸留装置
プラントスチームで、精製水を蒸留してWFIをつくります。規格外の蒸留水は自動的に排水へ切り替えられます。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス
注射用水ループ
80°Cで循環するWFIです。約167°F(75°C)を下回ると自己殺菌能力を失います。導電率やTOCが限度を外れた水は使用できません。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: バイオ医薬・ライフサイエンス
5 ブランド: BWT, MECO, Mettler-Toledo Thornton, Sievers, Stilmas
貯水槽/タンクレベル
生活用、消火用、または冷却補給用の貯水です。消火用の予備水量は、設計値を下回ってはなりません。
プロトコル: Modbus TCP · BACnet/IP · Modbus RTU
電気脱イオン(EDI)装置
電場を利用してRO水からイオンを除去し続け、比抵抗を16 MΩ·cm以上に高めます。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ · 新エネルギー製造 · バイオ医薬・ライフサイエンス
軟水器
硬度成分を除去して、ボイラ、加湿器、冷却塔を保護します。再生と塩の補給が追従する必要があります。
プロトコル: Modbus TCP · Modbus RTU
比抵抗分析計
超純水は、18.2 MΩ·cm付近を維持する必要があります。
プロトコル: Modbus TCP · OPC UA · Modbus RTU
使用業種: 半導体・IC製造 · エレクトロニクス・フラットパネルディスプレイ
4 ブランド: Hach, Horiba Advanced Techno, Leici, Mettler-Toledo Thornton
灌水コントローラ
天候に合わせて散水を調整し、造園用水を節約します。
プロトコル: Modbus TCP · MQTT · Modbus RTU
使用業種: 商業ビル
4 ブランド: Dayu, Gardena, Hunter Industries, Rain Bird
掲載されていないブランドでも、対応プロトコルのいずれかで通信できる機器であれば接続できます。汎用プロトコルテンプレートから開始し、ベンダーのポイントリストに合わせて調整します。