Gases y vacío
Los gases a granel, los gabinetes de gases especiales, el aire seco limpio y las bombas de vacío alimentan cada herramienta. Si falla el suministro, las herramientas se detienen; una fuga es un asunto de seguridad de las personas. 18 tipos de dispositivo.
Bomba de vacío de proceso
Una bomba seca bajo una cámara de proceso. Una bomba detenida o una presión de entrada en aumento aborta el proceso y puede desechar producto; la purga de N2 previene la corrosión y la acumulación de polvo.
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6 marcas: Busch, Ebara, Edwards, Kashiyama, Leybold, Pfeiffer Vacuum
Cabezal de aire comprimido
La presión del cabezal es la que realmente reciben las herramientas. Por debajo de unos 95 psi, las herramientas neumáticas y las mordazas empiezan a fallar.
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6 marcas: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
Cabezal de CDA
Presión, punto de rocío y demanda de CDA de todo el sitio: la presión que realmente reciben las herramientas.
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6 marcas: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
Caja de manifold de válvulas
Divide una línea de gas especial entre varias herramientas dentro de una caja con extracción y monitoreo de fugas.
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6 marcas: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, Huate, Matheson, PNC
Compresor de aire
El aire comprimido es el "cuarto servicio" de la planta: acciona cilindros, pistolas de pintura y herramientas. Dos operan y uno está en reserva.
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9 marcas: Bolaite, Fusheng, Gardner Denver, Hitachi, Ingersoll Rand, Kaeser, Kaishan, Quincy Compressor, Sullair
Compresor de aire seco limpio
Un gran compresor centrífugo sin aceite que suministra aire seco limpio a válvulas y herramientas. Cuando uno se dispara, los demás deben asumir la carga en segundos o la presión del cabezal cae y las herramientas alarman y se apagan.
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3 marcas: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser
Gabinete de gases especiales
Un gabinete con extracción que contiene cilindros tóxicos, inflamables o corrosivos, con purga automática, válvulas de exceso de flujo y de cierre automático. El cierre lo realizan el gabinete y el GMS; la plataforma solo monitorea.
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7 marcas: Air Liquide, Applied Energy Systems, CKD, Huate, Linde, Matheson, PNC
Generador de nitrógeno en sitio
Nitrógeno en sitio por PSA o criogénico. Una salida fuera de pureza pasa el sitio a su respaldo de nitrógeno líquido.
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6 marcas: Air Products, Atlas Copco, Hangyang, Hengda, Parker Hannifin, Peak Scientific
Medidor de consumo de gases especiales
Registra el consumo y los días de suministro por gas para la asignación de costos y el pedido de cilindros. Solo lectura.
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8 marcas: Applied Energy Systems, Brooks Instrument, CKD, Horiba STEC, Huate, Matheson, MKS Instruments, NAURA
Nivel de parque de tanques
Tanques de materia prima y producto terminado: nivel, temperatura y enclavamientos de nivel alto-alto (solo lectura).
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9 marcas: Dichuan, Emerson, Endress+Hauser, Flowline, Honeywell, Siemens, SUPCON DCS, Veeder-Root, VEGA
Purificador de nitrógeno
Purifica nitrógeno a granel a niveles de ppb; el paso de O₂ o de humedad perjudica el rendimiento.
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4 marcas: Entegris, Huabang, Japan Pionics, SAES Pure Gas
Secador de aire desecante
Seca el aire comprimido hasta un punto de rocío de unos −94°F (−70°C). Un punto de rocío en ascenso significa que entra humedad a la red de CDA.
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6 marcas: Atlas Copco, Ingersoll Rand, Kaeser, Parker Hannifin, Shanli, Sullair
Sistema de suministro de químicos a granel
Entrega ácidos, bases, solventes y revelador desde el almacén hasta las herramientas por tuberías de doble contención. Las fugas se detectan en las charolas colectoras y en el espacio anular; el sistema se apaga por sí mismo.
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4 marcas: Air Liquide, Entegris, Kinetics, PNC
Sistema de vacío general
Proporciona vacío para varitas de obleas, mandriles y sistemas de limpieza.
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4 marcas: Busch, Dekker Vacuum, Ebara, Edwards
Suministro de gas a granel
Tanques de nitrógeno, oxígeno o argón líquidos, o remolques de tubos de hidrógeno, vaporizados y entregados a presión estable. Un nivel bajo significa pedir una entrega; una salida del vaporizador muy fría significa que la demanda supera la capacidad del vaporizador.
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10 marcas: Air Liquide, Air Products, Airgas, Applied Energy Systems, Chart Industries, CKD, Hangyang, Huate, Linde, Matheson
Suministro de lodo CMP
Mezcla el lodo CMP y lo hace circular hacia las pulidoras. Un conteo creciente de partículas grandes significa rayones en las obleas.
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4 marcas: Air Liquide, Entegris, Kinetics, PNC
Unidad de dilución de químicos
Mezcla químicos concentrados en la proporción que necesitan las herramientas; una deriva de concentración perjudica el proceso.
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Vaporizador criogénico
Vaporiza nitrógeno, oxígeno o hidrógeno líquidos; un gas de salida demasiado frío agrieta la tubería aguas abajo.
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4 marcas: Chart Industries, Cryoquip, Furui, Linde
Una marca que no figura en la lista aún puede conectarse si el dispositivo habla alguno de los protocolos compatibles: se parte de la plantilla de protocolo genérica y se ajusta a la lista de puntos del fabricante.