MKS Instruments
FacilityOS はネットワークスキャン中に MKS Instruments の機器を識別し、Modbus TCP, EtherNet/IP で接続します。
地域: 米国 · カテゴリ: ガス・真空
製品ファミリー
| 製品ファミリー | 機器タイプ | プロトコル | |
|---|---|---|---|
| GE50A / P9B mass flow controllersGE50A · P9B · GM50A | 特殊ガス使用量メーター | Modbus TCP · EtherNet/IP | 確認待ち |
確認待ち 使用前に、ベンダーのレジスタ一覧でポイントマップを確認する必要があります。
掲載されていないブランドでも、対応プロトコルのいずれかで通信できる機器であれば接続できます。汎用プロトコルテンプレートから開始し、ベンダーのポイントリストに合わせて調整します。