MKS Instruments
FacilityOS 在扫描网络时识别 MKS Instruments 设备，并通过 Modbus TCP, EtherNet/IP 接入。
地区: 美国 · 类别: 气体与真空
产品系列
| 产品系列 | 设备类型 | 协议 | 接入方式 | |
|---|
| GE50A / P9B mass flow controllersGE50A · P9B · GM50A | 特气用量计量 | Modbus TCP · EtherNet/IP | EtherCAT / DeviceNet / Modbus 网关 | 待核对 |
待核对 点表使用前需按厂家寄存器表核对。
表里没有的品牌也能接入：只要设备支持任一标准协议，就先按协议通用模板接入，再按厂家点表调整。
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