MKS Instruments
FacilityOS 在掃描網路時識別 MKS Instruments 裝置，並通過 Modbus TCP, EtherNet/IP 接入。
地區: 美國 · 類別: 氣體與真空
產品系列
| 產品系列 | 裝置型別 | 協議 | 接入方式 | |
|---|
| GE50A / P9B mass flow controllersGE50A · P9B · GM50A | 特氣用量計量 | Modbus TCP · EtherNet/IP | EtherCAT / DeviceNet / Modbus 閘道器 | 待核對 |
待核對 點表使用前需按廠家暫存器表核對。
表裡沒有的品牌也能接入：只要裝置支援任一標準協議，就先按協議通用模板接入，再按廠家點表調整。
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