NAURA
FacilityOS はネットワークスキャン中に NAURA の機器を識別し、Modbus TCP, OPC UA で接続します。
製品ファミリー
| 製品ファミリー | 機器タイプ | プロトコル | |
|---|---|---|---|
| 特殊ガス使用量メーターCS200 · D07 | 特殊ガス使用量メーター | Modbus TCP | 確認待ち |
| PECVD成膜装置 / 拡散炉 / CZ単結晶引上げ装置HORIS · NMC612 · THEORIS | PECVD成膜装置, 拡散炉, CZ単結晶引上げ装置 | OPC UA | 確認待ち |
確認待ち 使用前に、ベンダーのレジスタ一覧でポイントマップを確認する必要があります。
掲載されていないブランドでも、対応プロトコルのいずれかで通信できる機器であれば接続できます。汎用プロトコルテンプレートから開始し、ベンダーのポイントリストに合わせて調整します。