北方华创（NAURA）
FacilityOS 在扫描网络时识别 北方华创（NAURA） 设备，并通过 Modbus TCP, OPC UA 接入。
地区: 中国 · 类别: 气体与真空, 生产工艺
产品系列
| 产品系列 | 设备类型 | 协议 | 接入方式 | |
|---|
| 质量流量控制器 / 半导体设备CS200 · D07 | 特气用量计量 | Modbus TCP | RS-485 / Modbus | 待核对 |
| 刻蚀 / 薄膜 / 立式炉 / 单晶炉HORIS · NMC612 · THEORIS | PECVD 镀膜设备, 扩散炉, 单晶炉 | OPC UA | SECS/GEM（HSMS）经设备主机网关，或 OPC UA | 待核对 |
待核对 点表使用前需按厂家寄存器表核对。
表里没有的品牌也能接入：只要设备支持任一标准协议，就先按协议通用模板接入，再按厂家点表调整。
← 全部品牌