Tokyo Electron
FacilityOS 在掃描網路時識別 Tokyo Electron 裝置，並通過 OPC UA 接入。
地區: 日本 · 類別: 生產工藝
產品系列
| 產品系列 | 裝置型別 | 協議 | 接入方式 | |
|---|---|---|---|---|
| TELINDY / Tactras / TriasTELINDY PLUS · Tactras · Trias | PECVD 鍍膜裝置, 擴散爐 | OPC UA | SECS/GEM（HSMS）經裝置主機閘道器，或 OPC UA | 待核對 |
待核對 點表使用前需按廠家暫存器表核對。
表裡沒有的品牌也能接入：只要裝置支援任一標準協議，就先按協議通用模板接入，再按廠家點表調整。