Tokyo Electron
FacilityOS 在扫描网络时识别 Tokyo Electron 设备，并通过 OPC UA 接入。
地区: 日本 · 类别: 生产工艺
产品系列
| 产品系列 | 设备类型 | 协议 | 接入方式 | |
|---|---|---|---|---|
| TELINDY / Tactras / TriasTELINDY PLUS · Tactras · Trias | PECVD 镀膜设备, 扩散炉 | OPC UA | SECS/GEM（HSMS）经设备主机网关，或 OPC UA | 待核对 |
待核对 点表使用前需按厂家寄存器表核对。
表里没有的品牌也能接入：只要设备支持任一标准协议，就先按协议通用模板接入，再按厂家点表调整。