触控/模组组装 — 电子与平板显示
ISO 6–7 级组装、贴合和老化。
触控/模组组装是电子与平板显示行业的一个细分领域。下面是 FacilityOS 为它覆盖的系统和设备，从电子与平板显示解决方案中筛选得出。
FacilityOS 能做什么
- 面向大尺寸玻璃基板工厂的洁净区、FFU 群组和粒子计数器。
- 超纯水、特种气体、废水处理和压缩空气作为公用系统，附能效 KPI。
- 气体检测和消防系统只监视，每次事件后都做联动核查。
系统与设备
必备：这类站点都有；常见：多数站点有；可选：视站点而定。
冷站与 PCW
面板厂冷负荷极大，冷站是最大的用电系统。
| 设备 | 配置 | 值得关注的点位 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 冷水机组 | 必备 | 冷冻水供水温度 · 冷冻水回水温度 · 负载率 · 耗电功率 · 单位制冷耗电 · 故障 | 中型冷站，BACnet/IP。 |
| 冷却塔单元 | 必备 | 冷却水出水温度 · 冷却水回水温度 · 风机转速 · 集水盘液位 · 循环水电导率 · 风机振动 | |
| 水泵 | 必备 | 运行状态 · 转速 · 管路压差 | 冷冻水/冷却水泵，变频器多为 Modbus TCP。 |
| 热回收冷水机/热泵 | 可选 | 热水供水温度 · 冷冻水供水温度（热回收侧） · 耗电功率 · 综合能效比（COP） | 热回收替代锅炉燃气，是降碳的主要手段之一。 |
| 工艺冷水机 | 常见 | 工艺冷却水供水温度 · 工艺冷却水回水温度 · 负载率 |
洁净室与环境
大面积 FFU 场的可用率、压差和粒子数决定点缺陷率。
| 设备 | 配置 | 值得关注的点位 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 新风机组（MAU） | 必备 | 送风温度 · 送风露点 · 新风量 · 风机转速 · 末级过滤器压差 · 故障 | 露点控制决定洁净室湿度。 |
| 风机过滤单元组（FFU） | 必备 | 运行台数 · 故障台数 · 平均转速 · 总功率 · FFU 网络通信故障 | 按配电回路/控制网段分组，成片故障通常是回路问题。 |
| 洁净区 | 必备 | 对相邻区域压差 · 室内温度 · 相对湿度 · 垂直气流速度 · 目标洁净度等级（ISO） · 门未关 | 典型压差梯度 0.02–0.06 inWC（5–15 Pa）。 |
| 粒子计数器 | 必备 | ≥0.1 µm 粒子 · ≥0.3 µm 粒子 · ≥0.5 µm 粒子 · ≥5.0 µm 粒子 · 实测洁净度等级（ISO） · 超出目标洁净度等级 | ISO 14644-1 限值按每立方米给出，÷35.3147 换算为每立方英尺。 |
| 静电防护监测 | 必备 | 监测工位数 · 当前不合格工位 · 车间湿度 · 腕带/鞋测试不合格 · 工作台接地失效 | 湿度通常控制在 30–70%RH 之间（各厂取值不同）。 |
| 气态分子污染（AMC）监测 | 常见 | 酸性气体 · 碱性气体（NH₃） | |
| 微振动监测 | 可选 | 对应 VC 等级 · 超过机台要求 |
生产工艺设备状态
SMT 线的回流焊和 AOI 状态。
| 设备 | 配置 | 值得关注的点位 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 产线控制器（OEE） | 常见 | 设备综合效率（OEE） · 当前产出（件/小时） · 今日合格产量 · 单件能耗 | |
| 导热油炉 | 常见 | 出口油温 · 低流量保护 |
CDA、氮气、特气与化学品
阵列工艺用硅烷、氨、三氟化氮；湿制程用显影液、剥离液、蚀刻液。
| 设备 | 配置 | 值得关注的点位 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 空压机 | 必备 | 排气压力 · 负载率 · 耗电功率 · 故障 | |
| 吸附式干燥机 | 必备 | 压力露点 · 干燥机压降 · 再生温度 · 故障 | 典型压力露点 −94°F（−70°C）。 |
| CDA 总管 | 必备 | 总管压力 · 总管露点 · 用气量 | |
| 大宗气体供应 | 必备 | 储罐液位 · 供气压力 · 汽化器出口温度 · 用气量 · 杂质含量 · 正在使用备用储罐/管束 | N2、O2、Ar、H2、CO2；液位遥测通常由气体供应商提供。 |
| 现场制氮装置 | 常见 | 产品氮气含氧量 · 产气量 · 出口压力 · 纯度不合格（已切到液氮后备） | |
| 大宗化学品供应系统 | 必备 | 供应桶/槽液位 · 日用槽液位 · 供应压力 · 供应流量 · 接液盘漏液 · 双层管夹层漏液 · 自动切断阀已关闭 | TMAH 显影液经皮肤吸收可致命，泄漏按最高级处理。 |
| 化学品稀释单元 | 常见 | 出口浓度 · 漏液 · 浓度越限 | |
| 氮气纯化器 | 常见 | 出口 O₂ |
超纯水与废水
面板清洗用水量极大。
湿制程排风与废气处理
湿台排风和洗涤塔保护人员并满足许可。
供电与分项计量
按阵列、成盒、模组和动力站分项计量。
| 设备 | 配置 | 值得关注的点位 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 低压配电柜 | 必备 | 母线电压 · 负载电流 · 有功功率 · 功率因数 · 电流谐波畸变率 · 断路器跳闸 | |
| 变压器 | 常见 | 绕组温度 · 负载率 · 超温报警 | 干式变压器。 |
| 不间断电源 | 必备 | 负载率 · 电池可支撑时间 · 旁路运行 | SNMP v3（UPS-MIB）。 |
| UPS 蓄电池组监测 | 必备 | 电池组电压 · 最低单体电压 · 最高单体电压 · 最大单体内阻 · 最高电池温度 · 荷电状态 | 逐节监测内阻趋势（IEEE 1188 推荐的维护方法之一）。 |
| 柴油发电机 | 常见 | 运行状态 · 输出功率 · 油箱液位 · 启动电池电压 · 不在自动位置 | |
| 电能质量监测 | 常见 | 电压谐波畸变率 · 电流谐波畸变率 · 今日电压暂降次数 · 电压暂降/中断事件 | 电压暂降是停机的常见隐形原因。 |
| 全厂总进线计量 | 必备 | 全厂用电 · 全厂用电（MW） · 今日用电量 · 功率因数 | |
| 区域/车间电表 | 必备 | 区域用电 · 今日用电量 · 15 分钟需量 · 功率因数 | 按车间/系统分项计量，用于能耗分析和成本分摊。 |
| 天然气计量 | 常见 | 天然气流量 · 热量（按 1,037 BTU/scf） · 今日用气量（标准立方英尺） | 天然气按 scfh 计量，按热值折算 BTU/h。 |
| 有源谐波滤波器（APF） | 常见 | 补偿后电流总谐波畸变率 · 装置负载率 · 故障模块数 · 风扇故障 | |
| 动态电压恢复器（DVR） | 可选 | 今日补偿暂降次数 · 旁路运行 | |
| 局部放电在线监测 | 常见 | 局放量 | |
| 机台 PDU / EMO | 常见 | EMO 已按下 |
生命安全 只监视
气体监测、化学品漏液、消防。只监视。
| 设备 | 配置 | 值得关注的点位 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 缺氧探测器 | 必备 | 氧气浓度 · 一级报警（缺氧 19.5%） · 二级报警（缺氧 18%） | 液氮/惰性气体区域：19.5% / 18% 两级。 |
| 定位式漏液检测 | 必备 | 检测到漏液 · 漏点距离（距起点） · 漏点所在分区 · 感应线断线/污染 | |
| 火灾报警分区与联动确认 | 必备 | 火警 · 监视信号 · 故障信号 · 联动确认：空调已停 · 联动确认：防火/防烟阀已关 · 联动确认：排烟已启动 · 联动确认：电梯已迫降 | 联动反馈用于核对消防联动是否到位。 |
| 火灾报警主机 | 必备 | 火警 · 监视信号 · 故障信号 | 只监视（NFPA 72）。 |
| 吸气式感烟探测器 | 常见 | 烟雾遮光度（%/ft） · 预警 · 行动 · 火警 1 · 采样气流故障 | |
| 排烟风机 | 常见 | 运行状态 · 排烟风门未到位 | 排烟/加压送风风机，平台只监视。 |
安防与视频 只监视
摄像机和门禁状态，以及视频联动：摄像机关联到区域、设备和告警规则，告警时网关抓取 ONVIF 快照附在告警上，并提供跳转到 NVR/VMS 实时画面的链接；平台本身从不连接摄像机。
| 设备 | 配置 | 值得关注的点位 | 说明 |
|---|---|---|---|
| 视频摄像机 | 常见 | 在线 · 正在录像 · 移动侦测 · 智能分析报警 · 遮挡/移位 | 经 VMS（Milestone、Genetec 等）接入状态；告警时由网关抓取 ONVIF 快照并附在告警上，平台本身从不连接摄像机。 |
| 门禁控制器 | 常见 | 门打开 · 开门超时 · 强行开门 | 门禁事件可联动摄像机。 |
生命安全类设备（火灾报警、气体检测、应急电源切换）和保护装置只监视。FacilityOS 绝不向它们发送指令。
标准与合规
| 标准与合规 | 说明 |
|---|---|
| ISO 14644-1 | 洁净室分级；面板阵列区常用 ISO 4–5，成盒/模组 ISO 6–7。 |
| SEMI S2 | 制造设备 EHS 指南，面板设备普遍采用。 |
| NFPA 318 | 半导体制造设施防火标准，面板厂常参照执行。 |
| ANSI/ESD S20.20 | 静电放电控制方案。 |
| IPC J-STD-001 | 电子组件焊接要求。 |
| IPC-A-610 | 电子组件可接受性。 |
| IPC/JEDEC J-STD-033 | 湿敏器件的处理、包装、运输和使用（与车间湿度相关）。 |
| NFPA 72 | 火灾报警与信号规范。 |
| IEC 62443 | 工业自动化网络安全。 |
标准按其覆盖内容列出；数值是常用的典型值，并非对每个站点的要求。FacilityOS 支持您的合规工作，但不对站点做认证。
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